半导体洁净室推车式加热器

保持晶圆温度稳定：关于智能运输车用红外加热器的真相 如果你经营着一家现代化的半导体工厂，那么你一定知道温度波动是个大问题。在将晶圆从一处移动到另一处时，仅仅“接近目标温度”是不够的——必须确保晶圆的温度始终处于稳定状态。 因此，我们选择使用短波红外加热器来为洁净室中的运输车提供热量。这种方式的效果...