בחדרי הייצור, חימום בטמפרטורה של 90°C אינו רק המלצה – זו דרישה הכרחית. שינוי של 2°C יכול לגרום לשינויים במאפייני הפוטורזיסט, לשינויים ברוחב הקווים, ולהפיכת המוצר הטוב לפסולת. לכן יוצרנו את נורות החימום בתחום האינפרא-אדום שלנו כדי להתמודד עם מצבים כאלה.
מה חשוב מבחינה טכנית? הנורות משתמשות באלמנטים הלוגניים שפולטים קרינת אינפרא-אדום בגלים קצרים, והאנרגיה מועברת ישירות לחומר הנעשה בו שימוש, תוך חימום מינימלי של האוויר שמסביב. התוצאה היא תגובה מהירה ושליטה מדויקת. על גבי שבב בגודל 300 ממ, הטמפרטורה נשארת בטווח של ±0.1°C, והשיטוריות נשארת בטווח של 0.05°C לאורך 24 שעות.
חוקי חדרי הייצור הם בלתי ניתנים למשא ומתן, לכן הנורות מיועדות לשימוש בסביבות מסוג Class 1–100. אנו משתמשים בחומרים שפולטים כמויות קטנות של גזים, ובתהליכי ייצור שמאפשרים שליטה בכמות החלקיקים. יציבות הפלט נשמרת בטווח של 2% לאורך יותר מ-5,000 שעות. גוף הנורה כולל אינטפרפייסים וחיבורים חשמליים סטנדרטיים, כך שהיא יכולה להתחבר למערכות הקיימות ללא בעיות.
למה זה עובד כאן? בתהליך הליתוגרפיה, שלב החימום קובע את כמות החומר המומס בפוטורזיסט ואת זווית הקירות. נורות האינפרא-אדום שלנו פוגעות בשבב במהירות ובאופן אחיד, מה שמקצר את זמן העיבוד מבלי לגרום לעומס יתר על החומר. שיטות החימום השונות פועלות באותו אופן, מה שמפחית את הצורך בעבודות תיקון ומשפר את היעילות.
שימוש באנרגיה פוחת, מכיוון שהחום מועבר ישירות לחומר הנעשה בו שימוש, ולא לקירות החדר. והאמינות של הנורות מבטיחה פחות עצירות בלתי צפויות – לא צורך להחליף נורות באמצע הייצור, ואין צורך לתקן בעיות שנוצרות בין השלבים השונים של הייצור.
דברים שצריך לדעת: ההתקנה דורשת התאמה של גאומטריית המחזיר והמרחק הפוקלי למסלול השבב. אם ההתאמה לא נכונה, האחידות תיפגע. הנורות פולטות חום רב, לכן יש צורך לבדוק את מערכות ההגנה והאינטרלוקים לפני שמתחילים את התהליך.
אנו תומכים בשילוב עם בקרים נפוצים, אך עדיין יש צורך במפה ספציפית לכל מקום, כדי להתחשב בעומס החום באותו מקום. אם האופייניזציה הראשונית נעשית כראוי, הנורה תעבוד כראוי, לאורך כל שלבי הייצור.