בקו הייצור, שינוי קל בטמפרטורה – אפילו של חלק קטן מדרגה – עלול לגרום לסטיות בתכונות הפוטורזיסט. הקו נעצר, מספר החלקיקים עולה, ושיעור ההצלחה יורד, עוד לפני בדיקת הפגמים. יצרנו תנורי חימום באינפרא-אדום שנועדו לבטל את השינויים האלו, כך שתהליך הליתוגרפיה יישאר בתנאים הרצויים, שעה אחר שעה.
הליבה של התנור היא גוף פלט אינפרא-אדום בגלים קצרים, שמותאם לספיגת האנרגיה על ידי חומרי הפוטורזיסט הנפוצים. כך נוצרת אחידות טמפרטורית של ±0.1°C, בזכות עיצוב המבוסס על קוורץ, שמאפשר העברה יעילה של אנרגיה ושמירה על טמפרטורה קבועה. גוף התנור מתאים למשטחי חימום סטנדרטיים, תואם לתנאי חדרי ניקיון מסוג 1–100, ומיועד למנוע כל שינוי בכמות החלקיקים. בפועל, זה אומר שתהליכי החימום נשארים יציבים לאורך אלפי סיבובים, ושליטה בממדים החיוניים משתפרת, ללא צורך בבקרה תמידית של הטמפרטורה.
ראשית, יש יציבות בתהליך הייצור. דיוק גבוה יותר בטמפרטורת החימום מפחית את הסטיות בין השורות השונות, וכך יורדת כמות החומרים הבזבזים. צריכת האנרגיה יורדת, מכיוון שהתנור מגיע לטמפרטורה הרצויה במהירות ושומר עליה ללא סטיות. התנור מיועד לפעולה 24/7, כך שזמני הפסקה בלתי צפויים ועלויות החלפת חלקים יורדות. התוצאה היא שיעור הצלחה גבוה יותר וזמן פעולה צפוי – שני גורמים שמשפיעים על רווחיות המפעל.
ההתקנה פשוטה על רוב הפלטפורמות, אך יש לוודא שהמרחקים בין הגופים השונים של התנור מתאימים. יש לוודא גם שמערכת הבקרה של הטמפרטורה יכולה לעמוד בקצב התגובה של התנור. יש לצפות לתקופת התאמה קצרה, כדי שהתנור יגיע לרמת האחידות המיטבית.