کاهش انتشار کربن در فرآیند تولید نیمههادیها: همه چیز از کنترل حرارت شروع میشود.
در تولید نیمههادیها، کنترل حرارت بسیار مهم است. اما اگر واقعاً میخواهیم به هدف بیاثر کردن انتشار کربن دست پیدا کنیم، باید از هدر رفتن انرژی در جاهایی که بیشترین میزان انرژی هدر میرود، جلوگیری کنیم. برای ما، این به معنای تمرکز بر ساختارهای مربوط به سیستمهای گرمایشی مادون قرمز است. اگر حرارت وارد اتاقهای تمیز شود، در واقع پول و کربن را هدر میدهیم.
مواد مناسب اهمیت زیادی دارند.
ما برای ساخت این ساختارها از فولاد ضدزنگ ۳۰۴ یا ۳۱۶L استفاده میکنیم. چرا؟ چون این فولادها گازی تولید نمیکنند و در دماهای بالا تغییر شکل نمیدهند. در داخل، از بازتابندههای صیقلدادهشده برای هدایت تشعشعات مادون قرمز به سمت ویفر استفاده میکنیم.
ساختار مناسب برای کنترل حرارت.
شکل ساختار، تأثیر زیادی بر میزان تراکم حرارت دارد. ما این ساختارها را طوری طراحی میکنیم که فاصله بین لامپ و ویفر تا حد امکان کم باشد. این کار باعث میشود دما به سرعت افزایش یابد؛ در نتیجه، انرژی کمتری برای گرم کردن هوای اطراف ویفر صرف میشود. همچنین، از براکتهای دقیق برای نصب لامپها استفاده میکنیم تا بتوانیم لامپها را تعویض کنیم بدون اینکه نقطه تمرکز حرارت تغییر کند. اگر تنظیمات اشتباه باشد، کارایی سیستم کاهش خواهد یافت.
واقعیت مربوط به حرارت با تراکم بالا.
سیستمهای مادون قرمز با توان بالا، فشار زیادی بر فلزات وارد میکنند. هنگام استفاده طولانیمدت از این سیستمها، فولاد ضدزنگ گسترش مییابد. ما از سوراخهای مناسب برای جلوگیری از این گسترش استفاده میکنیم تا ساختار تحت فشار فرو نرود.
اما باید به یاد داشته باشید که سیستمهای خنککننده تأسیسات شما باید بتوانند این بار حرارتی را تحمل کنند. در غیر این صورت، شما در واقع کربن را کاهش نمیدهید؛ بلکه فقط بار را از کولر به سیستم تهویه منتقل میکنید.
وقتی که ساختار لامپ به درستی طراحی شود، لامپ معمولی به ابزاری دقیق تبدیل میشود. این روش سریعترین راه برای دستیابی به اهداف زیستمحیطی در تولید نیمههادیها است، بدون اینکه سرعت تولید کاهش یابد.