در واقع، راکتور MOCVD تولید شده توسط Aixtron، جایی است که پارامترهای حرارتی تعیین میشوند. اگر عنصر گرمایشی دچار اختلال شود، یکنواختی دما مختل میشود؛ در نتیجه، ویفرها دیگر مطابق استانداردها نخواهند بود، تکرارپذیری فرآیندها کاهش خواهد یافت، و شما مجبور خواهید بود به جای تمرکز بر زمان کارکرد دستگاه، روی تعداد ذرات موجود در ویفرها تمرکز کنید. با استفاده از قطعات یدکی اصلی تولید شده توسط Aixtron، میتوانید دوباره به پروفایل حرارتی اولیه برگردید.
چه چیزی مهم است؟
این قطعات یدکی برای سیستمهای حرارتی راکتورهای Aixtron طراحی شدهاند؛ دارای مقاومت پایدار و قابلیت گرمایش سریع هستند که به کنترل دقیق دما کمک میکند. شکل این قطعات با فضای مورد نیاز برای نصب در راکتور همخوانی دارد؛ بنابراین میتوان آنها را مستقیماً در جایگاههای موجود نصب کرد. مواد مورد استفاده نیز برای پایداری در دماهای بالا و کاهش گازهای تولید شونده انتخاب شدهاند؛ بنابراین راکتور تمیز باقی میماند. نتیجه این امر، یکنواختی دما در سطح ویفرها خواهد بود؛ همچنین عملکرد فوتورزیستها در فرآیندهای لیتوگرافی و شرایط یکنواخت برای فرآیندهای اپیتاکسی در راکتور MOCVD نیز بهبود خواهد یافت.
چرا این موضوع در تولید مهم است؟
در تولید نیمههادی، هدف این است که از توقفهای غیرمنتظره جلوگیری شود. استفاده از قطعات یدکی مناسب، تغییرات ناشی از فرآیندهای مختلف را کاهش میدهد، زمان لازم برای تنظیم دوباره دستگاه را کوتاه میکند، و از نوسانات حرارتی جلوگیری میکند. در نتیجه، تعداد ویفرهای بیکیفیت کمتر خواهد شد، ابعاد مهم ویفرها پایدار خواهد بود، و مقدار انرژی مصرفی برای جبران اختلالات حرارتی نیز کاهش خواهد یافت. در فرآیندهای فوتورزیست، این دقت به معنای داشتن پروفایلهای گرمایشی قابل پیشبینی است؛ در نتیجه، تعداد لکهها و باقیماندهها کاهش خواهد یافت و نیاز به تکرار فرآیندها نیز کمتر خواهد بود.
جزئیات عملی:
محدودیتهای نصب این قطعات بسیار دقیق هستند؛ بنابراین قبل از تعویض، باید نوع کانکتور، فاصلههای لازم برای نصب، و همچنین تطابق ترموکوپلها/سنسورها را بررسی کنید. پس از تعویض نیز، باید کالیبراسیون راکتور را بررسی کنید. این قطعات را باید مانند قطعات اصلی در نظر گرفت؛ استفاده از قطعات غیرمناسب، باعث تغییرات در پاسخ حرارتی دستگاه میشود و نیاز به تنظیم مجدد سیستم کنترلی را ایجاد میکند. بهتر است ذخایر قطعات یدکی خود را بر اساس زمانهای تعمیرات پیشگیرانه تنظیم کنید، نه بر اساس زمانهای توقف ناگهانی دستگاه.