如何保持100级洁净室的清洁状态
如果你正在运营100级洁净室，那么你肯定知道颗粒物带来的麻烦。哪怕是来自加热元件的微小碎片，都可能毁掉整个生产批次的产品。大多数普通电阻式加热器根本无法满足这种要求——它们容易释放废气或出现剥落现象，而在洁净室里，这无疑是一场灾难。
因此，我们选择使用高纯度的合成石英红外灯。这种灯不会产生任何碎片，也不会造成污染。
为什么石英灯如此理想
我们使用的是熔融石英制成的灯管，因为它非常坚固。它能够承受巨大的热冲击而不会破裂，同时也不会向空气中释放杂质。
再想想那些金属壳体的加热器吧——它们会氧化、剥落。而石英灯则不会发生这种情况。它通过红外波来传递能量，而不是仅仅加热周围的空气。这一点非常重要，因为它能确保气流稳定，同时让晶圆或传感器保持洁净状态。
正确设置功率
不能直接将电源打开。否则，石英灯可能会破裂。我们会使用数字式红外干燥控制器来缓慢增加功率。如果因为快速切换而导致电压波动，那么灯丝就可能会烧毁。我始终建议使用PID控制方式，这是保持温度稳定的最佳方法。
另外，还要注意灯管之间的间距。这些高功率的灯管会产生大量热量。如果把它们靠得太近，就会损坏设备。请确保冷却风扇能够承受总功率，否则支撑结构就会变形。
安装与维护
最棒的一点是，这些灯管可以直接替代现有的红外灯阵列。我们使用精密连接器来确保电气连接紧密。绝对不能让电线松动，因为松动的电线会导致电弧产生，而电弧又会产生污垢。在洁净室里，一个电弧就能毁掉所有努力成果。
至于清洁方面，其实很简单：只需用异丙醇和无绒布擦拭即可。
**小心手指！**如果你的手指在石英灯表面留下指纹，那么一旦灯光变热，油脂就会渗入玻璃中，形成“热点”。这样一来，灯管很快就会损坏。