为何在晶圆加工中使用镀金红外反射器
在洁净室中工作时，我们的目标并非仅仅让物体变热，而是追求精确的温度控制。我们希望每一瓦特的能量都能准确地作用于硅表面，而不是被设备内部的结构吸收掉。
这就是镀金红外反射器的作用所在——它们能够防止能量浪费，确保温度保持稳定。
金材料的优势（以及为何铝材料不可行）
如果使用普通的铝制反射器，大量的红外能量会被吸收掉，从而导致能量浪费。而金则具有出色的反射性能，能够将近红外辐射反射回其应有的位置——即目标表面。通过在装置外壳上添加一层薄金，我们可以更精确地集中能量。
最棒的是，这样就能在不用提高电压或增加系统负担的情况下，让晶圆上的热量更加集中。
如何实现精确的温度控制
设计这类加热器时，关键在于确定能量的焦点。使用镀金反射器后，就不必担心那种在普通红外烤箱中常见的“边缘损耗”问题了。这样一来，就能更容易地在300毫米的晶圆上实现均匀的温度分布。
不过，使用时必须注意功率控制。如果将过多的能量集中在一个小区域内，很可能会导致石英外壳过热，或者给晶圆带来过大的热应力。我建议根据镀金反射器的具体响应时间来调整PID控制器，这样才能避免温度失控。
局限性与权衡
这类产品是为洁净室设计的，因此我们使用的材料必须是不会产生颗粒物或气体的，这样才能保持环境的清洁。
不过，金材料也有其缺点：它比较敏感。如果表面沾上油污或污染物，其反射率就会下降，导致热量分布不均。而且，不能使用强效溶剂来清洗这些表面，因为那样会破坏涂层。因此，需要有一套严格的清洁流程来保持涂层的完好性。一旦涂层出现划痕，晶圆上就会出现热点。这确实是一个微妙的平衡问题，但这样的效果绝对是值得的。