Trong quy trình burn-in, nhiệt độ không chỉ là một thông số cần điều chỉnh; nó chính là yếu tố then chốt trong toàn bộ quy trình này. Sự thay đổi nhỏ vài độ C cũng có thể khiến các khuyết tật tiềm ẩn không bị phát hiện, hoặc gây ra những lỗi giả mạo, khiến các wafer vẫn bị coi là hỏng và phải bỏ đi. Chúng tôi đã thiết kế bóng đèn sưởi để loại bỏ những yếu tố không chắc chắn này.
Những yếu tố quan trọng thực sự Bóng đèn sử dung ánh sáng hồng ngoại gần để làm nóng wafer một cách nhanh chóng và hiệu quả, đồng thời giúp giảm lượng năng lượng cần thiết. Mục tiêu của chúng tôi là đạt mức độ đồng đều về nhiệt độ ở mức ±0,1°C, đồng thời duy trì độ ổn định của nhiệt độ trong suốt quá trình xử lý. Bộ phận phát sáng được đặt trong vỏ bằng thạch anh và gốm, phù hợp để sử dụng trong môi trường sạch loại 1–100. Bề mặt của bộ phận này được chọn sao cho việc tạo ra các hạt bụi gần như bằng không. Điều này giúp đảm bảo rằng các thông số nhiệt độ luôn ổn định từ lần này sang lần khác.
Tại sao phương pháp này phù hợp cho quy trình burn-in Quy trình burn-in cần phải diễn ra một cách nghiêm ngặt, nhưng không được qua loa. Ánh sáng hồng ngoại giúp tạo ra phản ứng nhanh chóng, cần thiết cho các quy trình kiểm tra với tốc độ cao. Đồng thời, mức độ đồng đều về nhiệt độ giúp bảo vệ cấu trúc tinh tế của wafer, tránh tình trạng xuất hiện các điểm nóng, gây ra áp lực lên wafer hoặc làm thay đổi cấu trúc của nó.
Bóng đèn hoạt động 24/7, với các khoảng thời gian bảo trì dễ dự đoán, giúp đảm bảo độ ổn định trong quá trình hoạt động. Lượng năng lượng tiêu thụ được kiểm soát chặt chẽ, tránh lãng phí năng lượng. Kết quả là chúng ta có được các thông số nhiệt độ ổn định, ít phải kiểm tra lại, và ít wafer bị hỏng hơn.
Những chi tiết cần chú ý Bóng đèn có thể hoạt động cùng với các thiết bị burn-in thông thường, nhưng việc căn chỉnh bóng đèn sao cho nó phù hợp với mặt phẳng của wafer là rất quan trọng. Việc thiết lập bóng đèn diễn ra nhanh chóng – chỉ cần điều chỉnh khoảng cách, góc và độ phản xạ ánh sáng cho phù hợp với từng loại wafer. Một khi đã được căn chỉnh đúng cách, hệ thống sẽ hoạt động một cách ổn định, dễ dàng đo lường và lặp lại được.