Trong quy trình in ấn bằng phương pháp litography, bạn biết đấy: chỉ cần có sự sai lệch dù chỉ 0,5 độ trong quy trình nung phim, thì kích thước các chi tiết quan trọng sẽ bị thay đổi vài nanomet. Chỉ cần một lô sản phẩm bị lỗi, bạn sẽ phải chịu hậu quả trong nhiều ngày liền.
Chúng tôi chế tạo chiếc đèn nung phim này nhằm giải quyết vấn đề này – không có gì phức tạp cả, chỉ cần kiểm soát chính xác mà thôi.
Những yếu tố quan trọng Chúng tôi sử dụng bóng đèn halogen sóng ngắn được đặt trong vỏ thủy tinh, giúp làm nóng lớp phim một cách nhanh chóng và duy trì độ ổn định của nó. Độ đồng đều trên bề mặt wafer được kiểm soát ở mức ±0,1°C, còn độ lặp lại giữa các lần nung thì ở mức dưới ±0,2°C. Thời gian cần thiết để đạt đến nhiệt độ mong muốn là dưới 2 giây; sau đó, sự sai lệch nhiệt độ sẽ ở mức dưới 0,1°C mỗi giờ.
Chiếc đèn này có thể hoạt động trong môi trường phòng sạch loại 1–100, và được thiết kế sao cho không tạo ra bất kỳ hạt bụi nào trong quá trình hoạt động. Công suất tiêu thụ và kích thước của đèn phù hợp để có thể được lắp đặt ngay vào các hệ thống hiện có. Các đường kết nối của đèn cũng tương thích với các thiết bị tiêu chuẩn, giúp việc lắp đặt trở nên dễ dàng hơn.
Tại sao chiếc đèn này giúp bạn tránh rủi ro Chiếc đèn này giúp duy trì quy trình xử lý phim ở mức ổn định. Các thông số như chiều rộng đường kẻ, góc thành và lượng dung môi còn sót lại đều được kiểm soát chặt chẽ.
Điều này giúp giảm số lượng sản phẩm bị lỗi, giảm lượng vật liệu thừa, và giúp bạn dễ dàng lên kế hoạch cho quy trình sản xuất. Việc đạt đến nhiệt độ mong muốn nhanh chóng giúp giảm mức tiêu thụ năng lượng. Tuổi thọ lâu dài của bóng đèn giúp giảm thời gian bảo trì – ít phụ tùng thay thế hơn, ít thời gian ngừng hoạt động không mong muốn hơn.
Những điều cần lưu ý khi lắp đặt Bạn cần có hệ thống cung cấp điện phù hợp với môi trường phòng sạch, cùng với việc căn chỉnh quang học chính xác để đảm bảo rằng đèn hoạt động đúng vị trí cần thiết – trên bề mặt wafer. Hệ thống kiểm soát vòng lặp cũng đòi hỏi phải có cảm biến nhiệt độ bên ngoài; nếu không, việc kiểm soát nhiệt độ sẽ không chính xác.
Hãy tiến hành kiểm tra ban đầu để xác định mức nhiệt độ cần thiết, sau đó mới có thể áp dụng quy trình sản xuất một cách chính xác.