Зменшення викидів вуглецю під час виробництва напівпровідників: переваги використання інфрачервоного опалення
Виробництво напівпровідників вимагає значної кількості тепла та високої точності. Але якщо ви все ще користуєтесь традиційними резистивними нагрівачами, то фактично ви витрачаєте гроші на нагрівання повітря в приміщенні, а не самої пластини. Це повільний процес, що призводить до марнування енергії та зростання витрат на електроенергію.
Саме тут на допомогу приходять лампи інфрачервоного випромінювання короткої довжини хвилі. Замість того, щоб нагрівати всю кімнату, ці лампи спрямовують тепло безпосередньо на пластину. Це значно прискорює процес нагрівання. Вам не потрібно довго очікувати, поки тепло проникне в матеріал – все відбувається швидко. Це означає, що ви витрачаєте значно менше кіловат-годин на одну пластину.
Проблема: обладнання
Однак це не так просто, як здається. Коли йдеться про таку велику кількість енергії, обладнання сильно нагрівається – і я маю на увазі не лише саму пластину. Потрібно ретельно контролювати процес охолодження. Якщо не контролювати температуру навколо корпусу лампи, обладнання може швидко зламатися. Ми з’ясували, що єдиний спосіб зберегти стабільність процесу та запобігти перегріву пластини – це використання контролера типу PID.
Шлях до „зеленої“ фабрики
„Зелена фабрика“ – це звучить як корпоративний слоган, але насправді йдеться про скорочення витрат. За допомогою інфрачервоних ламп можна позбутися потреби у великих печах для попереднього нагрівання. Тепло починає діяти лише тоді, коли пластина знаходиться у правильному положенні. Більше жодних витрат на марну енергію.
Однак є одна проблема: блоки живлення коштують дорого, а ще потрібно регулярно чистити кварцові трубки. Якщо вони забрудняються, ефективність системи знижується, а економія енергії зникає. Якщо підтримувати чистоту скла, система буде ефективно виконувати свої функції.