На виробничій лінії температура 90°C є обов’язковою вимогою – це не просто рекомендація. Навіть зміна температури на 2°C може призвести до змін у структурі фотолаку, до варіацій у ширині ліній на пластині, що може призвести до втрати готової продукції. Саме для таких умов ми розробили наші інфрачервоні нагрівальні лампи для напівпровідників.
Що є важливим з технічної точки зору
Лампи використовують галогенні елементи, які випромінюють короткохвильове інфрачервоне світло, яке потрапляє безпосередньо на поверхню пластини, з мінімальним нагріванням навколишнього повітря. Це забезпечує швидку реакцію та точний контроль температури. На пластині діаметром 300 мм температура залишається в межах ±0,1°C, а точність контролю – в межах 0,05°C протягом 24 годин.
Правила чистих приміщень є обов’язковими, тому лампи призначені для використання в середовищах класу 1–100. Ми використовуємо матеріали з низьким вмістом газів та забезпечуємо контроль кількості частинок, щоб уникнути їх накопичення. Стабільність вихідної потужності становить 2% протягом 5 000+ годин. Корпус лампи має стандартні кріплення та електричні інтерфейси, що дозволяє легко встановлювати її в існуючі системи.
Чому це ефективно
У процесі літографії крок нагрівання визначає концентрацію розчинника фотолаку та кут його нахилу перед процедурою експозиції. Наші інфрачервоні лампи швидко та рівномірно нагрівають пластину, що скорочує час обробки без пошкодження фотолаку. Як процедура м’якого, так і жорсткого нагрівання відбувається за однакових умов, що зменшує кількість необхідних корекцій та підвищує якість продукції.
Витрати енергії зменшуються, оскільки тепло потрапляє саме туди, куди потрібно – безпосередньо на фотолак, а не на стіни камери. Надійність лампи забезпечує менше неспланованих зупинок у роботі: не потрібно замінювати лампи під час обробки партії продукції чи скоригувати параметри обробки між партіями.
Що потрібно знати
Під час встановлення необхідно забезпечити правильну налаштування геометрії відбивача та фокусної відстані відносно положення пластини. Якщо це не буде зроблено правильно, знизиться рівномірність нагрівання. Лампа гріється сильно, тож перед початком роботи необхідно перевірити захист та механізми безпеки.
Ми підтримуємо інтеграцію ламп зі звичайними контролерами, але для правильної роботи все одно необхідна налаштування відповідно до умов конкретного обладнання. Якщо провести належну початкову налаштування, лампа буде ефективно працювати партія за партією.