Katalizör üretim sürecinde, 15 dakikalık bir kurutma işlemi, son yapılan ayarlamaların getirdiği tüm avantajları yok eder. Katmanların homojenliği bozulur, parçacık sayısı artar ve katalizör katmanı istenen seviyeye ulaşamaz. Bunu engellemek için bu yakıt hücresi katalizör kurutma lambasını geliştirdik.
Önemli olan faktörler
Bu cihaz, neredeyse kızılötesi (NIR) lambalarla çalışır; spektrumu, katalizörün yapısal bütünlüğünü bozmadan çözücüleri hızlıca uzaklaştırmak üzere ayarlanmıştır. Wafer üzerindeki sıcaklık ±0.1°C aralığında sabit kalır ve ayar noktasının tekrarlanabilirliği ise ±0.5°C’dir. 7×24 saat boyunca kesintisiz çalışır; sahadaki cihazlar 5.000 saatten fazla kullanılmış olmasına rağmen bile %5’ten az verim kaybı göstermektedir. Temiz oda koşulları ek bir özellik değil, cihazın yapısının bir parçasıdır. Sınıf 1–100 ile uyumludur; işlem arayüzünde hiçbir parçacık bulunmaz ve gaz kaçağı ve kirlilikler engellenmiştir.
Neden bu cihaz işlem için uygundur?
Katalizörün kurutulması hızlı, temiz ve tekrarlanabilir olmalıdır. NIR teknolojisi, temas olmadan anında termal tepki sağlar; böylece döngü süresi kısalarak katalizörün yapısal bütünlüğü korunmuş olur. Fotorezist seviyesindeki termal kontrol sayesinde termal durum öngörülebilir hale gelir ve her parti aynı kuruma sürecini takip eder. Planlanmayan duruşlar söz konusu değildir; bu durum sağlam termal tasarım, kontrollü ısıtma programları ve lambanın uzun ömürlü olmasından kaynaklanır. Sonuç olarak katalizörün aktivitesi stabil kalır, atık miktarı azalır ve güvenilir bir üretim kapasitesi elde edilir.
Pratik notlar
Lamba standart boyutlarda olduğundan, yine de üstteki malzeme yığınının termal özelliklerini kontrol etmek gereklidir. Eğer kalın veya yüksek ısı enerjisine sahip malzemeler kullanılıyorsa, NIR gücünü ve bekleme süresini doğru şekilde ayarlamak gerekir ki lokal aşırı ısınmalar olmasın. Ayrıca temiz oda koşullarını da doğru şekilde planlamak gerekir; egzoz ve koruma sistemleri lambanın özelliklerine uygun olmalıdır. İşlem ancak çevreleyen hava akışı ve parçacık kontrolü uyumlu olduğunda tekrarlanabilir hale gelir.