Yanma işlemi sırasında sıcaklık, sadece bir ayar değildir; aslında bu işlemin kendisidir. Birkaç derecelik bir değişiklik, gizli kusurları gizleyebilir veya yanlış hataların oluşmasına neden olarak, gönderilmesi gereken wafleri işe yaramaz hale getirebilir. Bu belirsizlikleri ortadan kaldırmak için wafleri ısıtmak için özel bir lamba geliştirdik.
Asıl önemli olan şeyler
Lamba, hızlı ve doğrudan ısıtma sağlamak için yakın kızılötesi ışınlar kullanır. Waflerdeki sıcaklık farkını ±0,1°C içinde tutmayı hedefliyoruz; böylece ayar noktasının stabil kalması sağlanır. Yayıcı dizisi, 1–100 sınıfı temiz oda koşullarında kullanım için uygun olan kuvars ve seramik malzemelerden yapılmıştır. Yüzeyler, parçacık üretimini mümkün olduğunca sıfıra indirmek için özel olarak seçilmiştir. Çıktı her seferinde tekrarlanabilir olur; böylece yumuşak ve sert ısıtma işlemlerinin sonuçları da tutarlı olur.
Bu yaklaşımın yanma işlemine uygun olmasının nedenleri
Yanma işlemi zorlu olmalı, ancak asla düzensiz olmamalıdır. Yakın kızılötesi ışınlar, yüksek verimli testler için gerekli olan hızlı tepkileri sağlar. Ayrıca yüksek düzeydeki eşitlik, hassas geometrilerin korunmasını sağlar; böylece yerel ısınmalar fotoresistin yer değiştirmesine, stres oluşmasına veya başka sorunlara neden olmaz. Lamba, tahmin edilebilir bakım periyotlarıyla 24/7 çalışır; böylece çalışma süresi sabit kalır. Enerji tüketimi ölçülür ve yönetilir; boşa harcanan enerji olmaz. Böylece daha stabil profiller elde edilir, yeniden testler azalır ve atık miktarı düşer.
Doğru şekilde ayarlanması gereken pratik detaylar
Lamba, standart yanma ekipmanları ve test cihazlarıyla birlikte çalışır; ancak waflerin düzlemleriyle uyumlu olması çok önemlidir. Ayarlamalar hızlı bir şekilde yapılır: mesafe, açı ve emisivite ayarları yapılır ve işlem tamamlanır. Eğer 1. sınıf temiz oda koşullarında çalışıyorsanız, ekstra koruma önlemleri almalısınız ve hava akışını ve termal izolasyonu buna göre ayarlamalısınız. Uyum sağlandığında sistem, tahmin edilebilir, ölçülebilir ve tekrarlanabilir bir süreç haline gelir.