Yarı iletken üretiminde karbon tüketimini azaltmak için kısa dalgalı Kızılötesi ısıtma yöntemi
Yarı iletkenlerin üretilmesi için çok fazla ısı ve hassasiyet gereklidir. Ancak hâlâ geleneksel dirençli ısıtma yöntemlerine bağımlıysanız, aslında odadaki havayı ısıtmak için para ödemiş oluyorsunuz; yani wafer’in kendisini değil. Bu yöntem yavaştır, israfçadır ve enerji faturalarınızı artırır.
İşte burada kısa dalgalı Kızılötesi lambalar devreye giriyor. Bu lambalar, tüm ortamı ısıtmak yerine ısının doğrudan substrata gitmesini sağlar. Bu sayede hedef sıcaklığa çok daha hızlı ulaşılır. Isının nüfuz etmesi için uzun süre beklemek zorunda kalmazsınız. Çok hızlıdır… Ve bu da her wafer başına harcanan kilovat-saat miktarının azalması anlamına gelir.
Zor kısım: Donanım
Ancak bu işlem “tak ve çalıştır” şeklinde değildir. Bu kadar yüksek güç kullanıldığında, her yer ısınır; sadece wafer değil. Soğutma konusunda akıllıca hareket etmek gerekir. Eğer lambaların etrafında biriken ısıyı kontrol etmezseniz, ekipmanlarınız çok çabuk zarar görür. Bu lambaları sağlam bir PID kontrol cihazıyla birlikte kullanmanın, sistemleri stabil tutmanın ve substratin aşırı ısınmasını önlemenin tek yolu olduğunu gördük.
Gerçekten “yeşil” olmak
“Yeşil Fabrika” kavramı bir şirket sloganı gibi görünse de, aslında amacı gereksiz harcamaları azaltmaktır. Kızılötesi ısıtma sayesinde devasa ön ısıtma fırınlarından vazgeçebilirsiniz. Isı, parça doğru pozisyona geldiğinde aktif hale gelir. Artık boşa enerji harcanmaz.
Ancak bir dezavantajı var: Güç kaynaklarının maliyeti daha yüksektir ve kuvars tüplerin temiz tutulması gerekiyor. Eğer kirlenirse verimlilik düşer ve enerji tasarrufu ortadan kalkar. Cam tüpleri temiz tutarsanız, sistem sizin yerinize işi halleder.