Почему направленное инфракрасное нагревание действительно важно для устройств типа UHP
Большинство нагревательных элементов работают неэффективно: они излучают тепло во все стороны – по 360 градусов. В случае с полупроводниковыми устройствами это представляет проблему: большая часть энергии тратится на нагрев внутренних поверхностей устройства, а не самого полупроводника. К тому же это приводит к тому, что корпус устройства становится слишком горячим для прикосновения.
Мы используем другой подход. Благодаря использованию инфракрасных ламп с направленным излучением, мы направляем тепло именно туда, где это необходимо – прямо на пластину или субстрат.
Как это работает
Можно сказать, что это как переход от обычной лампочки к фонарику. Мы используем специальные отражатели и кварцевые оболочки, чтобы избежать эффекта «печи», при котором весь корпус устройства нагревается. Инфракрасная энергия направляется непосредственно на цель. Таким образом достигается нужная скорость нагрева, а корпус устройства не становится опасным из-за высокой температуры.
Чистота
В чистых помещениях даже небольшое количество загрязнений может все испортить. Поэтому мы используем высокочистый синтетический кварц. Это гарантирует, что никакие металлические ионы или частицы не попадут на поверхность устройства во время процесса нагрева. Кроме того, мы строго контролируем мощность нагревателя, чтобы температурный режим оставался стабильным во всех зонах.
Недостатки
Однако есть и недостатки. Из-за высокой концентрации тепла материал, который нагревается, подвергается значительному воздействию тепла. Если контроллер температуры настроен неправильно, возможны ситуации, когда температура превышает допустимые значения или возникают участки с повышенной температурой. Необходимо обеспечить правильную настройку положения лампы и системы охлаждения, чтобы сохранять стабильность.
Безопасность
Защита от проникновения тепла в корпус устройства позволяет не только снизить расходы на электроэнергию, но и сохранять прохладную поверхность устройства. Это также значит, что операторам не нужно беспокоиться о возможных ожогах во время ручного ремонта или обслуживания. Это делает управление температурным режимом устройства гораздо проще.