
Зачем продолжать тратить время впустую? Инфракрасное излучение против принудительного прогрева в производственных помещениях
Если вы занимаетесь обработкой полупроводников, вы знаете, с чем приходится иметь дело. Это постоянная гонка со временем и борьба за поддержание чистоты в производственном помещении.
Большинство старых установок все еще используют принудительный прогрев с помощью горячего воздуха для поддержания определенной температуры. Это неэффективно: воздух плохо передает тепло. Приходится тратить минуты на ожидание, пока воздух нагреется, прежде чем можно начать процесс обработки.
Именно здесь и вступает в игру инфракрасное излучение.
Инфракрасное излучение не нуждается в посредниках — оно напрямую воздействует на материал. Это происходит мгновенно. Не требуется тратить энергию на нагрев всего помещения; достаточно просто направить излучение на сам объект обработки. Таким образом, процесс нагрева сокращается с нескольких минут до нескольких секунд. В производстве с большой выработкой это значительно увеличивает количество пластин, которые можно обработать в день.
К тому же, нужно учитывать чистоту в производственном помещении. Принудительный прогрев создает опасность загрязнения — вентиляторы поднимают пыль, фильтры засоряются. Половина времени уходит на поддержание стабильной среды.
Инфракрасное излучение отличается от этого: у него нет движущихся частей, нет ветра и турбулентности. Благодаря компактным размерам таких устройств их можно разместить там, где это необходимо, без нарушения ламинарного потока воздуха.
Но это не волшебство. Есть свои недостатки. Инфракрасное излучение работает очень быстро, но оно имеет определенное направление. Нельзя просто «обернуть» объект излучением, как это возможно с горячим воздухом. Если у объекта необычная форма или есть глубокие углубления, могут возникнуть «холодные зоны». Необходимо тщательно выбирать местоположение излучателей. Если угол или расстояние выбраны неправильно, поверхность может быть повреждена, в то время как внутренняя часть объекта все еще останется холодной. Необходим контроллер PID для точного регулирования.
Это требует дополнительных усилий, но скорость и чистота компенсируют эти усилия.