На производственном участке температура воздуха во время процедуры отжига должна составлять ровно 90°C – это не просто рекомендация, а обязательное требование. Даже незначительные отклонения в 2°C могут повлиять на параметры фоторезиста, вызвать изменения в ширине линий на пластине и привести к тому, что качественная продукция превратится в брак. Мы разработали наши инфракрасные нагреватели специально для таких условий.
Что имеет значение с технической точки зрения
Нагреватели используют галогеновые элементы, излучающие коротковолновое инфракрасное излучение, которые расположены внутри кварцевых корпусов. Это позволяет направлять энергию непосредственно на пластину, минимизируя нагрев окружающего воздуха. В результате достигается быстрый ответ нагревателя и точный контроль над температурой. На пластине диаметром 300 мм температура остается стабильной в пределах ±0,1°C, а точность повторяемости составляет 0,05°C в течение 24 часов.
Правила чистого помещения являются абсолютно необходимыми, поэтому нагреватели предназначены для использования в условиях класса 1–100. Мы используем материалы с низким уровнем выделения газов, а также технологии, обеспечивающие контроль за количеством частиц. Стабильность выходных показателей составляет 2% в течение более 5,000 часов. Корпус нагревателя имеет стандартные разъемы для подключения, что позволяет его использовать в существующих системах без дополнительных усилий.
Почему это работает
В процессе литографии процедура отжига определяет параметры фоторезиста и угол его наклона перед процессом экспозиции. Наши инфракрасные нагреватели обеспечивают равномерное нагревание пластины, что сокращает время обработки и не влияет на качество фоторезиста. Процедуры мягкого и жесткого отжига выполняются при одинаковых температурных условиях, что снижает количество браков и повышает производительность.
Энергопотребление снижается, так как тепло направляется строго туда, куда нужно – непосредственно на фоторезист, а не на стенки камеры. Высокая надежность нагревателей означает меньше неплановых остановок процесса: нет необходимости заменять нагреватели в процессе производства.
Что нужно знать
Для правильной установки необходимо соответствие геометрии отражателя и фокусного расстояния пути пластины. Если этот параметр не соблюдается, будет нарушена однородность нагрева. Нагреватели работают при высоких температурах, поэтому перед началом работы необходимо проверить защитные элементы и системы безопасности.
Мы поддерживаем интеграцию нагревателей с обычными контроллерами, но для оптимальной работы необходимо учитывать особенности тепловых нагрузок в конкретных условиях. Если провести правильную первоначальную калибровку, нагреватели будут стабильно работать на протяжении всего процесса производства.