На этапе литографии все происходит так: даже небольшое отклонение в параметрах процесса нагрева может привести к тому, что критические размеры изделия изменятся на несколько нанометров. Один неудачный экземпляр продукции — и придется платить за это целыми днями.
Мы создали этот фотополимеризационный ламповый устройство именно с учетом этих условий — без лишних сложностей, только надежный контроль.
Что важно внутри устройства
В устройстве используется галогеновый излучатель коротких волн, расположенный в кварцевом корпусе. Этот излучатель позволяет быстро нагревать слой фотополимера и поддерживать его стабильность. Равномерность температуры по всей поверхности пластины составляет ±0,1°C, а точность повторения процесса — более ±0,2°C. Время достижения нужной температуры составляет менее 2 секунд, а после этого отклонения температуры остаются на уровне менее 0,1°C в час.
Устройство соответствует стандартам чистых комнат класса 1–100. Оно разработано таким образом, чтобы в процессе работы не образовывалось никаких частиц. Потребляемая мощность и габариты устройства позволяют его использование в существующих установках для нанесения покрытий и нагрева. Интерфейсы устройства согласуются с стандартными разъемами, что облегчает его интеграцию.
Почему это помогает избежать проблем
Этот ламповый устройство помогает поддерживать стабильные параметры процесса фотополимеризации. Параметры мягкого и жесткого нагрева остаются неизменными, что позволяет сохранять правильные размеры линий, углы стенок и содержание остаточных растворителей.
Это значит меньше необходимости в переработке продукции, меньше отходов, а также возможность планирования времени выполнения процесса. Быстрое приходление к нужной температуре с минимальными отклонениями снижает расход энергии. Долгий срок службы излучателя позволяет увеличить интервалы технического обслуживания — меньше запасных частей, меньше неplannovанных простоев.
Что нужно учитывать при установке
Необходимо обеспечить подачу электроэнергии в соответствии с требованиями чистых комнат, а также тщательно настроить оптическую совместимость, чтобы тепловое воздействие оказывалось именно на пластину. Для работы в режиме замкнутого цикла также необходим датчик температуры на самой пластине; без него работа будет происходить в режиме открытого цикла.
Сначала необходимо провести тестирование, чтобы определить реальные параметры теплового режима, затем зафиксировать параметры процесса и продолжить работу.