
Как сохранить чистоту в помещении класса 100
Когда вы нагреваете пластины в условиях помещения класса 100, необходимо избегать любых ошибок. Даже небольшое количество газов или отдельных частиц может серьезно снизить качество получаемого кремния. Это очень разочаровывает. Большинство стандартных нагревательных элементов не подходят для таких целей – они выделяют микроскопические частицы, которые портят всё.
Поэтому мы используем синтетический кварц высокой чистоты для наших инфракрасных ламп.
Почему кварц так важен?
Мы используем фусированный кремний с практически нулевым содержанием примесей. Почему? Потому что при высоких температурах дешевое стекло разрушается. Кварцевые трубки служат своего рода «крепостью», защищая филамент от контакта с пластинами. Благодаря химической инертности материала не возникает неприятного эффекта оседания пыли, как это происходит с дешевыми трубками. Это единственный способ сохранять чистоту воздуха во время процесса нагрева.
Тепло, которое действительно доходит до цели
Наши лампы излучают кратковолновое излучение. Вместо того чтобы тратить время на нагрев воздуха вокруг пластин, тепло направляется прямо на ее поверхность. Это делает процесс быстрым. Температура на всей поверхности пластины остается одинаковой.
Однако имейте в виду: мы помещаем большое количество ватт в небольшое пространство. Поэтому необходимо правильно настроить систему охлаждения. Если поток воздуха слишком слабый, концы лампы перегреются и сгорят. Никто не хочет сталкиваться с этой проблемой в процессе работы.
Как запустить лампы
Мы использовали стандартные соединители, поэтому лампы можно легко подключить к существующему оборудованию. Уплотнения выполнены так, чтобы предотвратить утечку галогенового газа.
Еще один совет при подключении ламп: сохраняйте контакты в чистоте. Любое окисление на контактах создает очаги нагрева, что может привести к повреждению кварца. Также убедитесь, что спектральный спектр излучения лампы соответствует свойствам материала пластин. Это поможет избежать траты энергии и сохранить чистоту процесса.