Op de productielijn is een temperatuur van 90°C geen aanrader – het is zelfs een vereiste. Een verschil van 2°C kan ertoe leiden dat het profiel van de photoresist verandert, waardoor de dikte van de lijnen onregelmatig wordt. Hierdoor kan goed product afval worden. We hebben onze infraroodverwarmingslampen ontworpen om dit soort situaties het hoofd te kunnen bieden.
Wat technisch belangrijk is De lampen maken gebruik van halogeen-elementen die kortegolfd infraroodlicht uitstralen. Dit licht wordt rechtstreeks op het gewenste gebied gericht, zodat er nauwelijks warmte wordt gegenereerd in de omringende lucht. Hierdoor is er een snelle respons en kan de temperatuur nauwkeurig worden geregeld. Op een 300 mm grote schijf blijft de temperatuur binnen ±0,1°C, en de herhaalbaarheid ligt binnen 0,05°C gedurende 24 uur.
De regels voor schone working environments zijn onverhandelbaar. Daarom zijn deze lampen geschikt voor gebruik in omgevingen van klasse 1–100. We gebruiken materialen met weinig uitstoot en een constructie waarbij de hoeveelheid deeltjes onder controle wordt gehouden. De stabiliteit van de uitgangsprestaties moet binnen 2% blijven gedurende meer dan 5.000 uur. De lamp heeft standaard aansluitingen, zodat deze gemakkelijk in bestaande installaties kan worden geplaatst.
Waarom het hier werkt Bij lithografie bepaalt de bakstep de hoeveelheid oplosmiddel die nodig is voor de photoresist en de hoek van de wanden van het object. Onze infraroodlampen zorgen ervoor dat het licht snel en gelijkmatig op de schijf terechtkomt. Hierdoor wordt de cyclusduur verkort, zonder dat de film beschadigd raakt. Zowel zachte als harde bakmethoden werken volgens dezelfde principes, waardoor er minder herwerkwerk nodig is en de productiekwaliteit verbetert.
De energieverbruik neemt af, omdat de warmte rechtstreeks naar de gewenste plek gaat – rechtstreeks in de photoresist – in plaats van dat de wanden van de kamer worden verhit. Bovendien leidt de betrouwbare werking tot minder onverwachte stilstanden: geen noodzaak om lampen te vervangen tijdens het proces.
Wat je moet weten Voor een correcte installatie moet de geometrie van de reflector en de brandpuntsafstand worden aangepast aan de positie van de schijf. Als deze alignement niet correct is, zal de gelijkmatigheid verminderen. De lamp wordt erg heet, dus het is belangrijk om de bescherming en veiligheidsmechanismen te controleren voordat het proces wordt gestart.
We ondersteunen integratie met veelgebruikte controllers, maar het bakprofiel vereist nog steeds een indicatie van de thermische last van het apparaat. Als de initiële karakterisering goed wordt uitgevoerd, zal de lamp de kwaliteit van het proces behouden, batch na batch.