Op de lithografieafdeling weet je hoe het werkt: een kleine afwijking van half graden in het ‘soft-bake’-profiel zorgt er al voor dat de kritische dimensies met nanometers afwijken. Eén slechte lading betekent dat je er dagenlang last van hebt.
We hebben deze lamp ontworpen om deze situatie aan te pakken – geen onnauwkeurigheden, maar juist betrouwbare controle.
Wat er belangrijk is onder de motorkap We gebruiken een kortegolflengtehalogeenemitter die zich bevindt in een kwartsomhulsel. Deze emitter zorgt ervoor dat de fotoresistlaag snel wordt opgewarmd en stabiel blijft. Op het oppervlak van de plaat blijft de uniformiteit binnen ±0,1°C, terwijl de herhaalbaarheid tussen verschillende batches beter is dan ±0,2°C. Het instellen van de temperatuur duurt minder dan 2 seconden. Zodra de plaat optimaal is opgewarmd, blijft de afwijking onder de 0,1°C per uur.
Het apparaat is geschikt voor gebruik in een schone ruimte van klasse 1–100. Het apparaat genereert nauwelijks partikels tijdens gebruik. De benodigde stroom en ruimte zijn zo geselecteerd dat het apparaat rechtstreeks kan worden geïntegreerd in bestaande systemen. De aansluitingen komen overeen met standaardconnectoren, zodat het apparaat gemakkelijk kan worden geïnstalleerd.
Waarom dit problemen voorkomt Deze lamp houdt de procesparameters van de fotoresist onder controle. De parameters zoals lijnbreedte, hoek van de zijkanten en resterende oplosmiddelen blijven binnen de vereiste grenzen. Dit betekent minder herwerkingswerk, minder afval en een betrouwbaar procesverloop. Een snelle opwarmtijd met minimale afwijkingen zorgt voor minder energieverbruik. Bovendien heeft de emitter een lange levensduur, waardoor er minder onderhoud nodig is.
Wat je moet voorbereiden bij de installatie Je hebt elektrische aansluitingen die voldoen aan de eisen van een schone ruimte nodig. Ook is een nauwkeurige optische alignering nodig, zodat de warmte precies op de juiste plek terechtkomt: op de plaat. Voor een goede regeling is ook een externe temperatuursensor nodig. Zonder deze sensor werkt het apparaat niet correct. Voer eerst een test uit om de werkelijke warmteverspreiding vast te stellen, en pas daarna de instellingen aan.