Hoe je een Class 100-reinroomsituatie echt schoon houdt
Wanneer je wafers verhit in een Class 100-omgeving, kun je het je niet veroorloven om één fout te maken. Eén klein beetje uitstoot van gassen of een paar losse deeltjes kunnen al ervoor zorgen dat de kwaliteit van het silicium drastisch verslechtert. Dat is frustrerend. De meeste standaardverwarmingselementen zijn niet geschikt voor dit doel – ze laten microscopische deeltjes lekken, waardoor alles bedorven wordt.
Daarom hebben we gekozen voor synthetisch kwarts van hoge zuiverheid voor onze IR-lampen.
Waarom kwarts belangrijk is
We gebruiken gesmolten silica met bijna geen onzuiverheden. Waarom? Omdat goedkoop glas kapotgaat wanneer het heet wordt. Deze kwartsbuizen werken als een soort ‘fort’, waardoor het tungstenfilament beschermd blijft tegen de wafers. Omdat het materiaal chemisch inert is, ontstaat er geen vervelend stofeffect, zoals bij goedkopere buizen. Dit is de enige manier om de lucht schoon te houden tijdens het verhitten van de wafers.
Hitte die echt effectief is
Onze lampen geven straling af op kortegolfslengte. In plaats van tijd te verspillen aan het opwarmen van de lucht rondom de wafers, gaat de hitte rechtstreeks naar het oppervlak van de wafers. Het gaat snel – echt heel snel. Hierdoor blijft de temperatuur gelijkmatig over het hele oppervlak van de wafers.
Eén belangrijk punt: we stoppen veel vermogen in een kleine ruimte. Dat betekent dat je de koelmiddelen goed moet regelen. Als de luchtcirculatie te zwak is, kunnen de uiteinden van de lamp oververhit raken en kapotgaan. Niemand wil dat midden in het proces gebeuren.
Hoe je ze in gebruik neemt
We hebben deze lampen uitgerust met standaardconnectoren, zodat ze gemakkelijk in je bestaande apparaten passen. Er is geen gedoe nodig. De sluitingen zijn vacuümsloten, zodat je je geen zorgen hoeft te maken over lekkages van halogengas.
Een klein advies bij het aansluiten: houd de contactpunten schoon. Oxidatie op de contactpunten kan namelijk tot oververhitting leidden, waardoor het kwarts kan breken. Zorg er ook voor dat het spectrum van de lamp overeenkomt met het materiaal van je wafers. Dit voorkomt energieverlies en zorgt ervoor dat het proces efficiënt verloopt, zonder dat de zuiverheid wordt beïnvloed.