UHP(초고순도) 히터 램프

왜 방향성이 있는 적외선 가열이 UHP 반도체 제조에 중요한가? 대부분의 가열 요소들은 열을 모든 방향으로 방출합니다. 즉, 360도로 에너지가 퍼져나가는 것이죠. 반도체 제조 과정에서 이는 큰 문제가 됩니다. 결국 기계의 내부 벽면을 가열하는 데 많은 에너지가 낭비...