화학 세정 구역에서 웨이퍼를 가열할 때는, 말 그대로 불을 다루는 것과 같습니다. 주변에는 인화성이 있고 폭발성인 증기들이 많이 있기 때문에, 그냥 일반적인 석영 램프를 화학액 위에 올려놓고 그냥 기다릴 수는 없습니다. 그건 재앙을 부를 뿐입니다.
안전을 위해서는 두 가지 사항에 집중해야 합니다. 첫째, 열이 과도하게 발생하지 않도록 하는 것, 둘째, 모든 부분을 단단히 밀폐하는 것입니다.
열 관리 램프와 화학물질 사이의 거리는 단순한 숫자가 아닙니다. 이는 매우 중요한 한계선입니다. IR 램프는 강력한 방사능을 내보내므로, 램프 표면이나 주변 공기가 너무 뜨거워지면 화학물질들이 순식간에 불타오를 수 있습니다.
우리는 램프의 와트수와 특정 화학물질의 증기압을 고려하여 계산을 합니다. 물론, 램프를 더 가까이 가져가면 더 빨리 열을 전달할 수 있습니다. 하지만 그렇게 하면 램프 자체가 손상될 위험이 있습니다. 그래서 냉각 시스템이 충분히 강력해야 하며, 그렇지 않으면 밀폐장치가 파괴될 것입니다.
밀폐 처리 그 다음으로는 밀폐 처리가 있습니다. 우리는 단순히 램프를 덮는 것이 아니라, 특수한 석영-금속 밀폐 장치를 사용합니다.
목표는 전기 부품들이 부식성이 있는 공기와 접촉하지 않도록 하는 것입니다. 전극과 배선은 산성 증기로부터 보호할 수 있는 고품질의 절연체로 감싸집니다. 이렇게 하면 전기 스파크가 발생하는 것을 막을 수 있습니다. 폭발성 환경에서는 단 한 번의 스파크만으로도 큰 문제가 생길 수 있습니다.
타협점 하지만 IR 광원과 웨이퍼 사이에 보호층을 두면, 원래의 열이 조금 줄어듭니다. 따라서 목표 온도에 도달하기 위해 더 높은 전력을 사용하거나, 웨이퍼를 좀 더 오랫동안 그 상태에 두어야 할 수도 있습니다. 하지만 이는 공장이 폭발하는 것을 막기 위한 작은 대가입니다. 우리는 화학적 폭발보다는 조금 느린 공정을 선택할 것입니다. 그렇게 하면 안정적이고 신뢰할 수 있는 열 처리가 가능하며, 무엇보다도 근무가 끝난 후에 집에 갈 수 있습니다.