जब आप केमिकल क्लीनिंग जोन में वेफरों को गर्म कर रहे होते हैं, तो वास्तव में आप आग से खेल रहे होते हैं… वाकई में। वहाँ ज्वलनशील, विस्फोटक वाष्पें मौजूद होती हैं; इसलिए आप बस कोई साधारण क्वार्ट्ज लैंप को केमिकल घोल में डालकर उम्मीद नहीं कर सकते कि सब कुछ ठीक रहेगा। ऐसा करने से विस्फोट हो सकता है।
सुरक्षा हेतु, हम दो मुख्य बातों पर ध्यान देते हैं – ऊष्मा को नियंत्रित रखना, एवं सब कुछ को अच्छी तरह सील करना।
ऊष्मा का प्रबंधन
लैंप एवं केमिकलों के बीच की दूरी कोई यादृच्छिक संख्या नहीं है… यह एक महत्वपूर्ण सीमा है। आईआर लैंप से तीव्र विकिरण निकलता है; अगर लैंप की सतह या उसके आसपास की हवा बहुत गर्म हो जाए, तो केमिकल वाष्पें तुरंत ही आग पकड़ सकती हैं।
हम लैंप की वॉटेज एवं केमिकलों के वाष्पदाब के आधार पर ही गणना करते हैं। बेशक, अगर आप लैंप को निकट रखें, तो चीजें जल्दी ही गर्म हो जाएंगी… लेकिन इससे लैंप का आवरण भी पिघल सकता है। इसीलिए लैंप से ऊष्मा को दूर रखने हेतु एक मजबूत शीतलन प्रणाली आवश्यक है… वरना सील नष्ट हो जाएंगे।
सीलिंग
फिर वहाँ “सीलिंग” का मुद्दा है… हम केवल लैंप को ढकते ही नहीं… बल्कि विशेष क्वार्ट्ज-मेटल सीलिंग एवं मजबूत आवरण भी उपयोग में लाते हैं।
इसका उद्देश्य विद्युत घटकों को क्षारीय वाष्पों से दूर रखना है… हम इलेक्ट्रोडों एवं तारों को उच्च गुणवत्ता वाले इंसुलेटरों में लपेटते हैं… ताकि वे अम्लीय वाष्पों के प्रभाव से सुरक्षित रहें। ऐसा करने से विद्युत आवेश उत्पन्न नहीं होता… और विस्फोटक वातावरण में तो एक ही चिंगारी पर्याप्त है।
त्याग
लेकिन यहाँ एक समस्या है… आईआर स्रोत एवं वेफरों के बीच सुरक्षात्मक परत लगाने से थोड़ी ऊष्मा कम हो जाती है।
आपको अपनी इच्छित तापमान प्राप्त करने हेतु ऊर्जा को बढ़ाना होगा… या वेफरों को थोड़ी देर तक वहीं रखना होगा। लेकिन यह एक छोटी कीमत है… ताकि कोई विस्फोट न हो। हम तो धीमी गति से काम करना ही पसंद करेंगे… बजाय रासायनिक विस्फोट के। इस तरह आपको स्थिर एवं विश्वसनीय तापमान प्राप्त होता है… और सबसे महत्वपूर्ण बात यह है कि आप शिफ्ट के अंत में घर जा सकते हैं।