Réduire les émissions de carbone dans les semi-fins : tout commence par le contrôle de la chaleur
Dans la fabrication de semi-conducteurs, le contrôle thermique est essentiel. Mais si nous voulons vraiment atteindre la neutralité carbone, il faut cesser de gaspiller de l’énergie là où cela se produit le plus. Pour nous, cela signifie se concentrer sur les boîtiers des systèmes de chauffage infrarouge. Si la chaleur s’échappe dans la salle de nettoyage, c’est comme jeter de l’argent – et du carbone – par les fenêtres.
Les bons matériaux sont importants.
Nous utilisons de l’acier inoxydable 304 ou 316L pour ces boîtiers. Pourquoi ? Parce qu’il ne libère pas de gaz et ne se déforme pas lorsque la température augmente. À l’intérieur, nous utilisons des réflecteurs polis pour diriger directement les rayons infrarouges vers la wafer.
C’est simple : quand la chaleur atteint exactement l’endroit voulu, il n’est pas nécessaire d’augmenter la puissance du système pour compenser les pertes. Moins d’énergie par wafer. C’est tout.
Il faut choisir la bonne géométrie.
La forme du boîtier détermine l’intensité de la chaleur. Nous concevons ces boîtiers de manière à minimiser l’espace entre la lampe et la cible. Un ajustement plus précis permet d’atteindre rapidement la température souhaitée. On ne gaspille plus d’électricité pour chauffer l’air autour de la pièce. Nous ajoutons également des supports de fixation précis afin de pouvoir remplacer les lampes sans altérer le point focal. Même un léger désalignement de quelques millimètres peut entraîner une baisse significative de l’efficacité.
La réalité d’une chaleur à haute densité.
Les systèmes infrarouges à forte puissance exercent une grande pression sur le métal. Au fil du temps, l’acier inoxydable va se dilater. Nous utilisons des trous de fixation spéciaux pour gérer cette dilatation, afin que le boîtier ne se détériore pas sous cette pression.
Mais il faut aussi s’assurer que le système de refroidissement de l’usine puisse gérer cette charge accrue. Sinon, on ne réduit pas vraiment les émissions de carbone – on transfère simplement le fardeau du chauffage au système de climatisation.
Lorsqu’un boîtier est bien conçu, une lampe infrarouge standard devient un outil précis. C’est le moyen le plus rapide d’atteindre les objectifs environnementaux sans ralentir la chaîne de production.