Maintenir les wafer au chaud : la vérité sur les chauffages à rayonnement infrarouge pour les chariots de laboratoire
Si vous dirigez une usine de semi-conducteurs moderne, vous savez que les fluctuations de température sont un vrai problème. Lorsque l’on déplace des wafer d’un endroit à un autre, il ne suffit pas que la température soit “assez élevée”. Il est nécessaire que les wafer restent à une température constante et stable.
C’est pourquoi nous utilisons maintenant des chauffages à rayonnement infrarouge à ondes courtes dans nos chariots de laboratoire. Cela fonctionne mieux.
Pourquoi avons-nous abandonné les anciennes méthodes ?
La plupart des chauffages traditionnels essaient d’abord de réchauffer l’air. Mais l’air est un mauvais conducteur de chaleur. Son action est lente, et dans une usine où tout se passe rapidement, ce retard est problématique.
Le rayonnement infrarouge, lui, envoie directement l’énergie vers la cible. Il n’y a pas besoin d’attendre que l’air se réchauffe. De plus, comme ce type de chauffage est très réactif, on peut le connecter à des capteurs pour obtenir des données en temps réel. Ainsi, votre chauffage devient un élément intelligent qui communique avec votre ligne de production. Vous atteignez ainsi plus rapidement la température désirée, et cette température reste stable.
Le problème : comment tout intégrer ?
Le problème, c’est que les salles propres ne laissent pas beaucoup d’espace pour installer ces équipements. Il faut donc insérer beaucoup de puissance dans un espace très restreint.
Les lampes à rayonnement infrarouge à haute puissance permettent d’atteindre rapidement la température souhaitée, mais elles consomment beaucoup d’énergie. Il faut donc s’assurer que l’alimentation électrique puisse gérer cette forte consommation initiale. De plus, comme toute cette chaleur doit être évacuée, il ne faut pas oublier les ventilateurs de refroidissement. Sinon, les composants électroniques risquent d’être endommagés.
Accepter les compromis
Pour maintenir l’air pur et éviter toute dégazification nuisible, nous utilisons des éléments encapsulés dans du quartz. Ceux-ci permettent de garder la salle propreuse, et ils peuvent être placés à l’endroit où se trouvaient auparavant les anciens chauffages résistifs.
Mais il y a un problème : le quartz est fragile. Il est précis, mais il ne supporte pas les chocs. Un simple choc lors de la maintenance peut endommager le dispositif.
Pour éviter cela, nous utilisons des protections autour de ces éléments. Il faut cependant veiller à ce que ces protections ne bloquent pas les ondes infrarouges. Si c’est le cas, tout redevient comme avant. Si tout est fait correctement, vos wafer resteront au chaud, tandis que votre processus de production continuera à fonctionner sans problème.