Arrêtez de gaspiller de la chaleur dans votre ligne de séchage
Si vous avez déjà effectué un audit énergétique sur une ligne de séchage de wafers, vous savez exactement où se trouve le problème : c’est l’espace entre la lampe et le substrat. La plupart des réflecteurs standard dispersent simplement l’énergie infrarouge partout autour. Au lieu d’atteindre le wafer, une grande partie de cette chaleur se reflète simplement sur les parois de la chambre. C’est un gaspillage total. C’est pourquoi nous utilisons des réflecteurs revêtus d’or.
Pourquoi l’or ?
Cela vient du fait que l’or est plus efficace pour refléter les rayons infrarouges à longue et moyenne longueur d’onde, par rapport à l’aluminium ou à l’acier inoxydable. L’aluminium n’est pas mauvais en soi, mais il ne supporte pas bien la chaleur ambiante. Il se dégrade avec le temps. L’or, quant à lui, ne s’oxyde pas. Il reste stable. cela signifie que davantage d’énergie atteint vraiment le wafer, plutôt que les parois. De plus, nous ne laissons pas la chaleur se disperser. Nous façonnons les réflecteurs afin de concentrer cette énergie en un faisceau précis. Ainsi, vous obtenez une densité de chaleur plus élevée à la surface du wafer, sans avoir à augmenter la puissance des lampes.
Les inconvénients
Il y a des compromis à prendre en compte. L’or n’est pas bon marché, donc les coûts initiaux seront plus élevés. Mais il faut voir cela comme un moyen de réduire vos coûts opérationnels à long terme. Un autre point important : l’or est exigeant. Si votre usine présente des vapeurs organiques ou chimiques, une fine couche de saleté se formera sur la surface des réflecteurs, ce qui diminuera leur efficacité. Il faut donc les maintenir propres, sinon vous gaspillez de l’argent.
Comment l’intégrer dans votre usine
La bonne nouvelle, c’est que ces réflecteurs peuvent généralement remplacer ceux existants sans avoir besoin de reconstruire tout le système. Il suffit d’aligner le point focal directement sur le plan du wafer. Cela permet d’assurer une chaleur uniforme sur toute la surface du wafer, évitant ainsi les zones chaudes qui pourraient endommager les substrats. Lorsque vous choisissez un système de séchage, ne vous contentez pas d’ajouter plus de lampes sous prétexte que vous avez besoin de plus de chaleur. Cela ajoute simplement une charge importante au système de ventilation de votre usine. Concentrez-vous plutôt sur l’efficacité des réflecteurs. Placez la chaleur là où elle doit être : sur le wafer.