Comment maintenir une salle propre de classe 100 vraiment propre
Lorsque vous chauffez des wafer dans un environnement de classe 100, vous ne pouvez vous permettre aucune erreur. Même une petite quantité de gaz émis ou quelques particules indésirables suffisent pour dégrader la qualité du silicium. C’est frustrant. La plupart des éléments chauffants standards ne sont pas conçus pour cela : ils libèrent des débris microscopiques qui gâchent tout.
C’est pourquoi nous avons opté pour du quartz synthétique de haute pureté pour nos lampes infrarouges.
Pourquoi le quartz est important
Nous utilisons de la silice fonduë, presque sans impuretés. Pourquoi ? Parce que lorsque les températures augmentent, le verre bon marché se détériore. Ces tubes en quartz agissent comme une véritable forteresse, isolant le filament de tungstène de la surface du wafer. Comme le matériau est chimiquement inerte, il n’y a pas d’effet de poussière, contrairement aux tubes moins qualitatifs. C’est le seul moyen de maintenir l’air pur pendant les cycles à haute température.
Une chaleur ciblée
Nos lampes émettent une radiation à ondes courtes. Au lieu de gaspiller de l’énergie pour chauffer l’air autour du wafer, la chaleur atteint directement la surface du même. C’est rapide. Vraiment rapide. Ainsi, la température reste uniforme sur toute la surface du wafer.
Un conseil : nous intégrons beaucoup de puissance dans un espace restreint. Il est donc essentiel que vos systèmes de refroidissement soient parfaits. Si le flux d’air est insuffisant, les extrémités de la lampe surchaufferont et finiront par se brûler. Personne ne veut avoir affaire à ça en plein travail.
Mise en service
Ces lampes sont équipées de connecteurs standard, ce qui signifie qu’elles s’intègrent facilement dans vos outils existants. Les joints sont hermétiques, donc vous n’avez pas à vous inquiéter de fuites de gaz halogène.
Un petit conseil pour le câblage : assurez-vous que les contacts soient impeccables. Toute oxydation sur les terminaux crée des points chauds, ce qui peut endommager le quartz. De plus, veillez à ce que la gamme spectrale de la lampe corresponde au matériau du wafer. Cela permet d’éviter le gaspillage d’énergie et de garantir une pureté optimale.