در کارخانههای تولید نیمههادی، هر واحد انرژی اتلاف شده، در واقع پولی است که بیهوده از بین میرود. اکثر لامپهای مربوط به موجهای مادون قرمز، کارایی چندانی ندارند؛ زیرا گرما را به همه جهات پخش میکنند. اما تنها جایی که اهمیت دارد، سطح ویفر است.
ما تصمیم گرفتیم این مشکل را حل کنیم. با اضافه کردن لایهای از طلا به لامپ، در واقع فیزیک را در خدمت خودمان قرار دادیم. این کار باعث میشود که لامپ، ابزاری بسیار دقیقتر برای انتقال انرژی باشد.
چرا طلا؟
موضوع، زیبایی نیست؛ در دنیای موجهای مادون قرمز، طلا از نظر بازتابپذیری، بسیار عالی عمل میکند.
به این صورت فکر کنید: به جای اینکه گرما به سمت بدنه دستگاه برگردد، لایه طلا مانند یک دیوار عمل کرده و فوتونها را به سمت جلو هدایت میکند. در نتیجه، پرتو انرژی درست در همان جایی که نیاز است، به ویفر برخورد میکند.
تنظیم درست فوکوس
این کار، صرفاً قرار دادن یک آینه روی لامپ نیست؛ ما زمان زیادی را صرف تعیین ضخامت و خلوص لایه طلا میکنیم. میخواهیم مطمئن شویم که انرژی موجهای کوتاه مادون قرمز بتواند بدون مشکل از لایه طلا عبور کند.
نتیجه چیست؟ دمای فرآیند تولید، خیلی سریع افزایش مییابد؛ همچنین، چگالی انرژی نیز بسیار بالا میشود. بهترین نکته این است که نیازی نیست توان منبع تغذیه را افزایش دهید.
نکاتی که باید در نظر بگیرید
از آنجایی که گرما خیلی سریع به ویفر میرسد، باید مراقب باشید. کنترلکنندههای PID را بررسی کنید؛ در غیر این صورت، ممکن است با مشکلاتی مانند شوک حرارتی مواجه شوید.
همچنین، از آنجایی که تمام انرژی به سمت جلو هدایت میشود، خود لامپ نیز میتواند سریع گرم شود. حتماً جریان هوای خنککننده را بررسی کنید تا انتهای لامپها آسیب نبیند.
اگر قصد بهبود یک خط تولید قدیمی را دارید، این کار بسیار آسان است؛ کافی است لامپها را به سیستم تغذیه موجود متصل کنید. فقط در ابتدای کار، حسگرهای سطحی را به دقت بررسی کنید؛ تفاوت در تشعشعات را بلافاصله متوجه خواهید شد.