دیگر اجازه ندهید گرما در خط تخشککننده شما هدر رود!
اگر تا به حال بررسی انرژی مربوط به خط تخشککننده ویفرها را انجام دادهاید، میدانید که مشکل در کجاست؛ آن فاصله بین لامپ و سطح ویفر است.
بیشتر بازتابندههای استاندارد، انرژی مادون قرمز را به همه جا پخش میکنند؛ بنابراین بخش عمدهای از این گرما، به جای برخورد با ویفر، از دیوارههای محفظه منعکس میشود. این کار کاملاً بیهوده است. به همین دلیل از بازتابندههای پوشیده شده با طلا استفاده میکنیم.
چرا طلا؟
دلیلش این است که طلا در بازتاب نور مادون قرمز عملکرد بهتری دارد؛ طلا نسبت به آلومینیوم یا فولاد ضدزنگ، بهتر میتواند انرژی موجهای بلند و متوسط را بازتاب دهد.
البته آلومینیوم هم عملکرد بدی ندارد، اما در برابر گرمای محیط کارخانه ضعیف عمل میکند و از بین میرود. اما طلا اکسید نمیشود و کیفیت خود را حفظ میکند؛ بنابراین گرمای بیشتری به ویفر منتقل میشود، نه به دیوارهها.
علاوه بر این، ما اجازه نمیدهیم گرما به طور تصادفی پخش شود؛ ما بازتابندهها را به گونهای طراحی میکنیم که انرژی را در یک پرتو متمرکز منتقل کنند. در نتیجه، چگالی گرما بر روی سطح ویفر بالاتر میشود، بدون اینکه نیاز به افزایش توان لامپها باشد.
معایب
البته، استفاده از طلا مزایایی دارد، اما هزینههای آن نیز بالاست؛ بنابراین هزینههای اولیه شما بیشتر خواهد بود. اما باید آن را به عنوان راهی برای کاهش هزینههای عملیاتی در بلندمدت در نظر بگیرید.
یک نکته دیگر این است که طلا نیاز به نگهداری دقیق دارد؛ اگر در کارخانه شما گازهای آلی یا بخارات شیمیایی وجود داشته باشد، لایههای کوچکی از آلودگی روی سطح بازتابندهها تشکیل میشود و باعث کاهش بازتابندگی آنها میشود. بنابراین باید آنها را تمیز نگه دارید، در غیر این صورت پول خود را هدر میدهید.
نحوه استفاده از آن در کارخانه
خوشبختانه، این بازتابندهها معمولاً میتوانند جایگزین بازتابندههای استاندارد شوند؛ نیازی به بازسازی کل سیستم نیست.
ما فقط نقطه تمرکز نور را روی سطح ویفر قرار میدهیم؛ این کار باعث میشود گرمایش در سراسر سطح ۳۰۰ میلیمتری ویفر یکنواخت باشد، و در نتیجه هیچ نقطه گرم وجود نداشته باشد.
وقتی که در حال انتخاب سیستم تخشککننده هستید، فقط به خاطر نیاز به گرمای بیشتر، لامپهای بیشتری اضافه نکنید؛ این کار فشار زیادی به سیستم تهویه کارخانه وارد میکند. بهتر است روی کارایی بازتابندهها تمرکز کنید؛ گرما را در جایی قرار دهید که واقعاً لازم است: روی ویفر.