چرا از بازتابندههای مادون قرمز پوشیده شده با طلا برای فرآوری ویفرها استفاده میکنیم؟
وقتی که در یک اتاق تمیز کار میکنید، هدف صرفاً گرم کردن اجسام نیست؛ بلکه دقت در توزیع انرژی مهم است. شما میخواهید که هر وات انرژی به سطح سیلیکون برسد، و نه اینکه در دیوارههای تجهیزات شما از بین برود.
در همین جاست که بازتابندههای مادون قرمز پوشیده شده با طلا نقش مهمی ایفا میکنند. آنها از هدررفت انرژی جلوگیری کرده و از تغییرات غیرضروری در دمای ویفر جلوگیری میکنند.
جادوی طلا (و دلیل عدم کارایی آلومینیوم)
اگر از بازتابندههای آلومینیومی استفاده کنید، مقدار زیادی انرژی مادون قرمز به دلیل جذب، از بین خواهد رفت. اما ما از طلا استفاده میکنیم؛ زیرا طلا بهترین ماده برای بازتاب تشعشعات مادون قرمز است. با افزودن لایه نازکی از طلا روی سطح، میتوانیم انرژی را در نقطه مورد نظر متمرکز کنیم.
نکته خوب این است که میتوانید دمای بالاتری روی ویفر داشته باشید، بدون اینکه مجبور باشید ولتاژ را افزایش دهید و سیستم خود را تحت فشار قرار دهید.
تنظیم دمای مناسب
طراحی این گرمکنها کاملاً بر اساس نقطه تمرکز انرژی است. با استفاده از بازتابندههای پوشیده شده با طلا، دیگر با مشکل «از دست رفتن انرژی در لبهها» مواجه نخواهید شد. این کار باعث میشود که دمای ویفر یکنواخت باشد.
اما باید مراقب میزان انرژی باشید؛ اگر مقدار زیادی انرژی را در یک ناحیه کوچک تمرکز کنید، احتمالاً ویفر دچار گرمای بیش از حد خواهد شد. من همیشه توصیه میکنم که کنترلکننده PID را با زمان پاسخگویی خاص بازتابندههای طلا تنظیم کنید؛ این تنها راه برای جلوگیری از افزایش بیش از حد دماست.
مزایا و معایب
این بازتابندهها برای اتاقهای تمیز طراحی شدهاند؛ بنابراین از موادی استفاده میشود که ذرات یا گازهایی را تولید نکنند. اما مشکل اینجاست که طلا حساس است؛ اگر روغن یا آلایندههایی روی سطح طلا تجمع کنند، بازتابندگی طلا کاهش خواهد یافت. در این صورت، توزیع دما نامنظم خواهد شد. نمیتوانید این آلایندهها را با مواد شیمیایی قوی پاک کنید؛ زیرا این کار باعث خراب شدن طلا خواهد شد.
برای حفظ دقت در توزیع دما، نیاز به یک روال تمیزکاری دقیق دارید؛ حتی یک خراش کوچک روی سطح طلا، باعث ایجاد نقاط داغ روی ویفر خواهد شد. این یک تعادل حساس است، اما نتایج آن ارزشمند است.