Einführung
Wir haben eine Ersatzlampe für Systeme zur schnellen thermischen Behandlung entwickelt. Ehrlich gesagt: Es handelt sich dabei um einen einfachen Ersatz – man setzt die Lampe einfach ein, und schon kann man weiterarbeiten. Das Ziel war einfach: Eine zuverlässige, hocheffiziente Heizquelle für die spezifischen thermischen Prozesse, die in der Fertigung benötigt werden. Die Leistung dieser Lampe ist konkurrenzfähig mit der von bekannten Herstellern – direkt im Produktionsbetrieb.
Was sie zum Erfolg bringt: Leistung, Spannung und Passform
Bei der schnellen thermischen Behandlung wird eine sehr spezielle Art von Energie benötigt. Deshalb wurde diese Lampe so konstruiert, dass sie bei 400 V arbeitet – dadurch entsteht eine hohe Leistungsdichte. Die höhere Spannung bedeutet außerdem weniger Stromfluss in den Leitungen. Dadurch entsteht weniger Belastung für die Stromversorgung und weniger Energieverlust als Wärme.
Was die Passform angeht: Die Länge und der Durchmesser der Lampe wurden so gewählt, dass sie perfekt in den optischen Weg der Kammer passt. So wird die Wärme jedes Mal gleichmäßig auf das Wafer übertragen.
Die technischen Details: Halogen, Quarz und einfacher Anschluss
Im Inneren der Lampe befindet sich ein Halogenheizelement, das in einer hochreinen Quarzkapsel untergebracht ist. Diese Kombination sorgt dafür, dass die Lichtleistung konstant bleibt und das Heizelement im Laufe der Zeit nicht dunkler wird – dadurch hat die Lampe eine längere Lebensdauer.
Der Quarz selbst ist stark genug, um schnellen Temperaturschwankungen standzuhalten, ohne zu reißen. Der Anschluss erfolgt über einen Standard-R7s-Anschluss. Dadurch ist die Installation schnell, einfach und wiederholbar. Man muss nur die Leitungen anschließen – es gibt kaum Stillstandzeiten.
In der Praxis: Für die echte Welt konzipiert
In der Produktion bedeutet Stillstand nicht nur Unannehmlichkeiten – es geht auch um verlorene Wafer. Deshalb muss diese Lampe unter Druck zuverlässig funktionieren. Sie liefert die nötige Leistung für Prozesse wie Glühen und Dotieren – ohne Probleme.
Doch wenn man so viel Leistung in einen kompakten Gehäuse packt, entsteht natürlich viel Wärme. Deshalb muss die Kühlanlage des Systems in der Lage sein, mit dieser Wärme fertigzuwerden. Wenn die Kühlanlage nicht mithält, kann die Lampe nicht optimal funktionieren.
Wir bitten Sie nicht, uns einfach zu glauben. Wir vergleichen unsere Werte mit denen der Konkurrenz – schließlich ist der einzige Beweis für die Qualität eine Testung vor Ort.