
Hören Sie auf, Ihre Ausrüstung zu überhitzen – eine bessere Methode zur Nutzung der Infrarotwärme
Wenn Sie schon einmal mit hoher Leistung in einer Halbleiterfabrik gearbeitet haben, kennen Sie das Problem. Die Wafer auf die richtige Temperatur zu bringen, ist zwar einfach – doch das wirklich Schwierige ist, zu verhindern, dass der Rest der Maschine zu einer Art „Riesenheizgerät“ wird.
Die meisten Infrarotlampen strahlen Wärme in alle Richtungen ab. Das ist unpraktisch und führt dazu, dass eine Menge Energie verschwendet wird. Zudem wird dadurch die Inneneinrichtung der Ausrüstung beschädigt.
Wir machen es anders: Wir verwenden gerichtete, ozongefreie Infrarotlampen, die die Wärme genau dorthin leiten, wo sie benötigt wird.
Der Trick hinter der gerichteten Erwärmung
Stellen Sie sich das wie den Unterschied zwischen einer Glühbirne und einer Taschenlampe vor. Normale Lampen streuen die Photonen in alle Richtungen. Doch diese gerichteten Lampen nutzen eine beschichtete Quarzkapsel oder einen internen Reflektor, um die Wärme in einem konzentrierten Strahl zu lenken. Dadurch entsteht eine fokussierte Wärmestrahlung.
Das ist aus zwei Gründen vorteilhaft: Erstens müssen die Bediener keine Verbrennungsgefahr fürchten. Zweitens dehnt sich das Chassis der Ausrüstung nicht aus oder überhitzt nicht, da es nicht von „unnötiger“ Wärme beeinträchtigt wird.
Das Problem mit dem Ozon
Ein weiteres Problem ist das Ozon. Kurzwellenlampen geben meist UV-Strahlen ab, die Ozon erzeugen. In einer Reinräumumgebung ist das katastrophal – Ozon zerstört Dichtungen und stört chemische Prozesse.
Unsere Quarzfilter filtern diese UV-Wellenlängen heraus. So erhalten Sie die ganze Wärme – ohne das Ozon. Einfach.
Ein paar Dinge, auf die Sie achten müssen
Man kann diese Lampen nicht einfach in irgendeine Maschine einbauen und dann ignorieren. Da die Wärme sehr konzentriert ist, wird die zu bewärmende Oberfläche stark belastet. Wenn Sie mit Materialien arbeiten, die einen niedrigen Schmelzpunkt haben, müssen Sie besonders auf Hotspots achten.
Mein Rat: Stellen Sie die PID-Controller sowie Sensoren so ein, dass sie die eigentliche Zieloberfläche überwachen – und nicht nur die Luft darum herum.
Und bitte verwenden Sie Hochtemperaturlitzen für die Verkabelung. Es gibt nichts Schlimmeres als den Geruch von schmelzendem Isoliermaterial in einem engen Raum. Wenn Sie mehr als 2000 Watt nutzen, stellen Sie sicher, dass die Kühlventilatoren den Luftstrom in der Kammer bewältigen können.
Belüftung ist hier nicht „nice to have“ – sie ist unerlässlich.