Proč je směrové IR zahřívání opravdu důležité u UHP polovodičů
Většina topných prvků je docela neefektivní. Vydávají teplo ve všech směrech – energie se rozptyluje na 360 stupňů. V polovodičovém zařízení to představuje problém. Nakonec plýtváte spoustou energie na zahřívání vnitřních stěn zařízení místo samotné části, která má být zahřátá. Navíc to způsobuje, že pouzdro zařízení je nebezpečně horké na dotek.
My to děláme jinak. Díky použití UHP infračervených lamp s směrovou technologií zaměřujeme teplo přesně tam, kam potřebujeme: přímo na wafer nebo substrát.
Jak to vlastně funguje Představte si to jako přechod od žárovky k baterkovému svítilničce. Používáme speciální reflektory a křemíkové obaly, abychom zabránili tomu „pečicímu efektu“, kdy se celé zařízení zahřeje.
Místo zahřívání vzduchu a kovového pouzdra dopadá infračervená energie přímo na cíl. Získáte tak rychlé zahřátí, ale pouzdro zařízení se nestane bezpečnostním rizikem pro osoby, které stojí vedle něj.
„Čistá“ část V čisté místnosti může i malá míra kontaminace zničit všechno. Proto používáme vysoce čistý syntetický křemík. Ten zaručuje, že během těchto vysokoteplotních cyklů neunikne nic – žádné kovové ionty, žádné cizorodé částice. Také pečlivě kontrolujeme výkon vlákén, aby teplotní profily zůstaly konzistentní v každé zóně.
Kompromis Je tu však jeden problém. Protože je teplo tak koncentrované, cílový materiál je silněji ovlivněn.
Pokud není váš PID regulátor správně nastaven, může dojít k přehřátí nebo vzniku nepříjemně horkých míst. Musíte se ujistit, že poloha lampy a chladicí systém spolupracují na udržení stability.
Bezpečnost Zabránění úniku tepla do stěn přináší více než jen nižší náklady na energii. Udržuje tak chladnou vnější povrchovou vrstvu zařízení.
Je úleva, že se nemusíte obávat o to, že by operátor mohl být popálen během rychlé ruční úpravy nebo běžné údržby. Celkově se tak zjednodušuje správa teplotního profilu zařízení.