Proč přestat plýtvat energií na zbytečné procedury? IR oproti ventilovanému vzduchu v výrobních prostorách
Pokud jste někdy pracovali v oblasti zpracování polovodičů, znáte ten proces. Je to neustálý boj s časem a snaha udržet všečisté.
Většina starých zařízení stále využívá ventilovaný horký vzduch k udržení stabilní teploty. Víte, jak to funguje: obrovské ventilátory rozvádějí horký vzduch po čisté místnosti, aby se díl dostal na požadovanou teplotu. Je to nepohodlné. A ta zpoždění? Jsou opravdu katastrofální. Vzduch prostě neumí efektivně přenášet teplo. Nakonec trávíte minuty čekáním, než se vzduch ustálí, abyste mohli proces začít.
A právě zde přichází na řadu infračervené záření (IR).
IR se neobtěžuje s „prostředníkem“. Nemusí zahřívat vzduch, aby zahřál díl. Místo toho posílá elektromagnetické záření přímo do podkladu. Je to v podstatě okamžité.
Netrácíte energii na zahřívání celé místnosti – pouze působíte přímo na díl. To znamená, že proces zahřívání, který trval dříve minuty, teď trvá jen sekundy. Když provozujete výrobní provoz v velkém měřítku, ušetření 30 sekund na každém cyklu představuje obrovský nárůst počtu waferů, které můžete denně zpracovat.
Navíc, zamyslete se nad čistotou vaší místnosti. Ventilovaný vzduch je noční můrou pro kontaminaci – ventilátory vyvolávají prach, filtry se ucpávají. Trávíte polovinu času bojem s systémem HVAC, abyste udrželi stabilní prostředí.
IR je jiné. Je statické – bez pohyblivých částí, bez větru, bez turbulencí. Protože tyto zařízení mají velmi malé rozměry, můžete je umístit přesně tam, kde potřebujete, aniž byste narušili laminární proudění vzduchu v místnosti. Prostě se tam hodí.
Samozřejmě, není to žádná magie. Existuje určitá kompromisnost. IR je sice extrémně rychlé, ale je to směrové záření. Nemůžete prostě „obalit“ díl infračerveným zářením, jako to můžete udělat s oblakem horkého vzduchu. Pokud má váš díl divné tvary nebo hluboké prohlubně, setkáte se s chladnými místy.
Musíte pečlivě zvolit polohu emitorů. Pokud uděláte chybu v úhlu nebo vzdálenosti, můžete spálit povrch, zatímco jádro dílu zůstane studené. Budete potřebovat přesný regulátor PID, abyste se vyhnuli nadměrnému zahřívání.
Vyžaduje to trochu více plánování, ale rychlost a čistota to opravdu stojí za námahu.