Získání většího množství tepla tam, kde je to opravdu potřeba
Při výrobě biosenzorů potřebujete teplo – rychlé a přesné teplo, které umožní zpracování polymerů nebo správné chování chemických vrstev. Problém je však v tom, že standardní infračervené lampy jsou neefektivní. Vysílají teplo do všech směrů, a velká část té energie prostě zmizí do prázdna.
Našli jsme způsob, jak tomu zabránit. Umístili jsme do těla lampy reflektory pokryté zlatem. Místo toho, aby se teplo rozptylovalo, je odráženo zpět na wafer.
Proč zlato?
Je to jednoduché – zlato dokonale odráží infračervené světlo. Mohli byste použít hliník, abyste ušetřili nějaké peníze, ale hliník pohlcuje příliš mnoho energie. Díky tenké vrstvě zlata téměř každý watt energie, který do systému vstoupí, skutečně dopadne na cíl.
Je to jako použití zvětšovací čočky – na povrchu tak vzniká mnohem vyšší hustota tepla, aniž byste museli zvyšovat spotřebu energie.
Ale není to jen magie – existují věci, na které je potřeba dávat pozor. Protože je energie tak soustředěná, se zmenšuje možnost chyb. Pokud je wafer i jen trochu mimo centrum, vzniknou na povrchu horká a studená místa. Nemůžete být nedbalí při použití mechanických prvků – musí být přesné.
A potom je tu ještě problém s hromaděním tepla. Jelikož odrážíme tolik energie, samotné elektrody lampy jsou pod velkým nátlakem. Pokud nezajistíte dostatečné chlazení, lampy se příliš rychle opotřebují.
Co to znamená pro váš výrobní proces
Jakmile toto zařízení zapojíte, první věc, kterou si všimnete, je rychlost. Dosáhnete požadovaných teplot mnohem rychleji, což znamená, že můžete zpracovat více wafерů za stejný čas.
Kromě toho zůstane vaše čistá místnost chladnější. Jelikož se teplo soustředí na wafer a neuniká do místnosti, klimatizace nemusí pracovat nadměrně. Díky tomu máte efektivnější proces, menší zařízení a mnohem méně plýtvání energií.