V prostředí litografie víte, jak to chodí: i půl stupně odchylky v profilu zahřívání může způsobit, že vaše kritické rozměry se začnou měnit o několik nanometrů. Jeden špatný výrobek znamená, že za něj platíte celé dny.
Tuto lampu na zahřívání fotorezistu jsme vyvinuli právě pro tento účel – bez zbytečných komplikací, pouze s kontrolou, které můžete spoléhat.
Co je důležité uvnitř lampy
Používáme halogenový zdroj krátkých vln v kvartovém obalu, který umožňuje rychlé zahřátí vrstvy fotorezistu a její stabilizaci. Na povrchu waferu zůstává jednotnost teploty v rozmezí ±0,1 °C, zatímco opakovatelnost mezi jednotlivými cykly je lepší než ±0,2 °C. Čas potřebný k dosažení požadované teploty je menší než 2 sekundy. Jakmile je vrstva fotorezistu dostatečně zahřátá, odchylka teploty zůstává pod 0,1 °C za hodinu.
Lampa je vhodná pro provoz v čistých prostorách třídy 1–100. Je navržena tak, aby během provozu nevytvářela žádné částice. Výkon a rozměry lampy umožňují její nasazení přímo do stávajících zařízení na nanášení a zahřívání fotorezistu. Rozhraní lampy odpovídá standardním konektorům, takže její instalace je jednoduchá.
Proč vám to pomůže vyhnout se problémům
Tato lampa udržuje proces nanášení fotorezistu pod kontrolou. Profily měkkého a tvrdého zahřívání zůstávají stálé, takže šířka linie, úhel bočních stěn a množství zbývajících rozpouštědel zůstávají v požadovaných mezích.
To znamená méně oprav, méně odpadu a pravidelný čas cyklů, který můžete plánovat. Rychlé dosažení požadované teploty s minimálními odchylkami snižuje spotřebu energie. Dlouhá životnost zdroje také prodlužuje intervaly údržby – méně náhradních dílů, méně neplánovaných výpadků.
Na co se připravit při instalaci
Budete potřebovat elektroinstalaci vhodnou pro čisté prostory a pečlivou optickou zarovnávku, aby se teplota udržovala přesně tam, kde má být – na waferu. Pro řízení v uzavřené smyčce je také potřeba externí teplotní senzor na desce určené k zahřívání. Bez něj budete pracovat v otevřené smyčce.
Nejprve proveďte testování, abyste zjistili skutečné tepelné parametry, poté zakotvte nastavení a můžete pokračovat.