UHP 超高纯度加热灯

Wed, 22 Jul 2026 02:33:28 +0800

为何定向红外加热对UHP半导体工艺至关重要

大多数加热元件都会向各个方向散发热量——360度全方位释放能量。在半导体制造中，这显然是个问题。因为大量电能被浪费在加热机器内部结构上，而非用于加热实际需要加热的部件。更糟糕的是，这样的设计还会使设备外壳变得过热，存在安全隐患。

我们则采取了不同的方式。通过使用具备定向功能的UHP红外灯，我们可以将热量精确地传递到需要加热的位置——也就是晶圆或基材上。

其工作原理
可以将其理解为从普通灯泡转变为手电筒。我们利用特殊的反射器和石英外壳来避免整个设备过度升温的情况。这样，红外能量就能直接作用于目标物体，从而实现快速的升温效果，同时不会让设备外壳变得过热，也就不会对操作人员造成危险。