http://ir-heater-online.com/zh/tags/%E5%BE%AE%E6%9C%BA%E7%94%B5%E7%B3%BB%E7%BB%9F/ Recent content in 微机电系统 on Online Store for Infrared Heaters Hugo zh Mon, 27 Jul 2026 16:46:50 +0800 http://ir-heater-online.com/zh/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-infrared-heating-systems/ Mon, 27 Jul 2026 16:46:50 +0800 http://ir-heater-online.com/zh/posts/reducing-carbon-footprint-in-mems-wafer-drying-via-infrared-heating-systems/ <p><img src="http://ir-heater-online.com/images/c4487c91a5d0bd93963bf8b3a19ba704.png" alt="MEMS传感器晶圆干燥加热器"></p> <p>使用红外加热技术来干燥MEMS传感器晶圆<br> 如果你曾经从事过MEMS器件的制造工作，那么你一定知道，在湿法蚀刻或清洗之后去除残留水分是多么麻烦的一件事。这无疑是一个巨大的瓶颈。大多数人只是把晶圆放入对流烤箱中加热，但这样一来，就相当于为了加热一块披萨而让整个房子都变热，这无疑是一种极大的能源浪费。</p>