Phần tử gia nhiệt bán dẫn OEM

Wed, 03 Jun 2026 01:35:13 +0800

Trên sàn sản xuất, sai lệch 0,5°C trong quá trình soft bake hoặc hard bake không phải là một sai số nhỏ. Đó là ảnh hưởng trực tiếp đến tỷ lệ thành phẩm. Hồ quang kháng sáng bị biến đổi, kiểm soát kích thước quan trọng bị trượt, và mẻ sản phẩm phải đưa đi sửa lại. Chúng tôi đã thiết kế bộ phận gia nhiệt bán dẫn OEM này dành cho ngân sách nhiệt của quá trình lithography và xử lý photoresist, nơi mà tính đồng đều nhiệt độ và kỷ luật phòng sạch không cho phép sai sót.

Trọng tâm kỹ thuật phụ thuộc vào lựa chọn và kiểm soát emitter. Các phần tử halogen sóng ngắn cung cấp nhiệt bức xạ nhanh, ổn định với kiểm soát phổ chặt chẽ, giúp năng lượng tập trung chính xác tại bề mặt resist mà không vượt quá nhiệt độ nền dưới. Trên toàn bộ vùng bake, độ đồng đều ở cấp wafer duy trì ±0,1°C, và tính lặp lại giữ ổn định điểm đặt nhiệt qua từng chu trình.

OEM on Online Store for Infrared Heaters

Phần tử gia nhiệt bán dẫn OEM