Fab on Online Store for Infrared Heaters

Các giải pháp sản xuất bền vững

Thu, 23 Jul 2026 09:44:39 +0800

Ngừng lãng phí nhiệt năng: Tại sao lớp mạ vàng trên đèn hồng ngoại lại hiệu quả đến vậy?
Trong các nhà máy chế tạo chip bán dẫn, mọi nguồn năng lượng bị lãng phí đều tương đương với việc tiền bạc bị lãng phí một cách vô ích. Hầu hết các đèn hồng ngoại đều kém hiệu quả – chúng phát ra nhiệt ở mọi hướng, nhưng thực ra chúng ta chỉ quan tâm đến khu vực bề mặt của tấm wafer mà thôi.

Nâng cấp thiết bị phòng sạch tại nhà máy

Tue, 21 Jul 2026 02:05:24 +0800

Làm cho thiết bị của bạn trở nên “thông minh” hơn nhờ công nghệ hồng ngoại
Nếu bạn muốn chuyển sang mô hình sản xuất thuộc kỷ nguyên Industry 4.0, chắc hẳn bạn đã biết rằng phần mềm chỉ là một phần quan trọng trong tổng thể hệ thống. Dù bạn có sử dụng những bảng điều khiển hiện đại nhất, nhưng nếu phần cứng không thể kết nối được với lớp dữ liệu, thì mọi thứ vẫn chỉ là suy đoán mà thôi.

Kiểm toán năng lượng cho quy trình sấy trong nhà máy

Mon, 20 Jul 2026 09:16:36 +0800

Hãy ngừng lãng phí nhiệt lượng trong quá trình sấy wafer
Nếu bạn từng tiến hành kiểm toán năng lượng cho dây chuyền sấy wafer, bạn chắc hẳn đã biết rõ nguyên nhân gây ra vấn đề này. Đó chính là khoảng cách giữa bóng đèn và bề mặt wafer.

Hầu hết các tấm phản xạ thông thường chỉ có khả năng tán xạ năng lượng hồng ngoại ra mọi hướng. Thay vì chiếu vào wafer, một lượng lớn nhiệt lượng lại bị phản xạ trở lại các bức tường của buồng sấy. Đó là sự lãng phí hoàn toàn. Đó là lý do tại sao chúng ta sử dụng các tấm phản xạ được phủ bằng vàng.

Xưởng sản xuất đèn hồng ngoại bằng sợi carbon

Fri, 17 Jul 2026 02:07:05 +0800

Giữ cho phòng sạch loại Class 100 luôn trong trạng thái sạch sẽ
Khi vận hành phòng sạch loại Class 100, ngay cả một hạt bụi nhỏ cũng có thể gây ra nhiều vấn đề. Chỉ cần một hạt bụi nhỏ hay một chút khí thải cũng đủ khiến các linh kiện quang học bị hư hại. Điều này thật đáng phiền phức.

Nguyên nhân chính là do các linh kiện sưởi thông thường – chúng dễ bị vỡ, bong tróc và giải phóng chất độc hại. Chúng tôi đã tìm ra giải pháp tốt hơn bằng cách kết hợp ống thạch anh tổng hợp có độ tinh khiết cao với các linh kiện sưởi bằng sợi carbon.

Vỏ máy sưởi bằng thép không gỉ

Sat, 11 Jul 2026 05:12:41 +0800

Giảm lượng khí thải carbon trong quy trình sản xuất bán dẫn: Mọi thứ đều bắt đầu từ việc kiểm soát nhiệt độ
Trong quy trình sản xuất bán dẫn, việc kiểm soát nhiệt độ rất quan trọng. Nhưng nếu chúng ta thực sự muốn đạt được mục tiêu trung hòa carbon, chúng ta cần ngăn chặn việc lãng phí năng lượng ở những nơi có mức tiêu thụ năng lượng cao nhất. Điều đó có nghĩa là chúng ta cần tập trung vào việc thiết kế các bộ phận chứa hệ thống sưởi ấm bằng tia hồng ngoại. Nếu nhiệt lượng bị rò rỉ ra khỏi phòng sạch, thì đó chính là việc lãng phí tiền bạc và khí carbon.

Vỏ bảo vệ bằng thủy tinh thạch anh dành cho đèn sản xuất.

Fri, 10 Jul 2026 01:53:41 +0800

Tại sao một tấm kính thạch anh đơn giản lại có thể giúp giảm chi phí năng lượng cho nhà máy sản xuất semiconduktor?

Nếu bạn làm việc trong nhà máy sản xuất semiconduktor, chắc hẳn bạn đã quen với việc sử dụng các bóng đèn sưởi bằng ánh sáng hồng ngoại. Bạn cần nguồn nhiệt chính xác để hoàn thành công việc. Nhưng nếu bạn muốn đạt được mục tiêu trung hòa khí carbon, thì bạn không thể chỉ đơn giản thay thế bóng đèn và hy vọng mọi thứ sẽ ổn. Bạn cần xem xét cách mà nguồn nhiệt được truyền đến wafer.

Nhà máy sản xuất máy sưởi Made in China

Fri, 05 Jun 2026 01:32:27 +0800

Trên sàn lithography, sự trôi lệch nửa độ trong quá trình nướng mềm đủ để làm thay đổi chiều rộng đường dẫn của bạn theo nanomet. Nếu bạn thực hiện nướng cứng ở nhiệt độ hơi cao, bạn sẽ nướng vào những khuyết tật mà chúng sẽ hiện diện cho đến bài kiểm tra cuối. Nếu bạn đang theo đuổi năng suất, “ấm” không đủ tốt. Bạn cần một thiết bị gia nhiệt giữ độ đồng nhất ở mức wafer—ổn định, ca này qua ca khác, trong các phòng sạch Class 1–100.
Những gì quan trọng bên trong
Chúng tôi xây dựng các thiết bị gia nhiệt cho fab xung quanh các yếu tố hồng ngoại sóng ngắn và các cụm nhiệt quartz. Nhiệt độ được cung cấp nhanh chóng, giữ sạch, và bạn có thể kiểm soát nhiệt độ một cách chặt chẽ. Trên toàn bộ wafer, mục tiêu là độ đồng nhất ±0.1°C, và khả năng lặp lại giữ trong ngân sách nhiệt chặt chẽ để mỗi lần nướng giống như lần trước. Các bộ điều khiển được cali hóa theo các cửa sổ quy trình bán dẫn, và phần cứng được chỉ định để hoạt động 24/7 mà không có thời gian ngừng hoạt động bất ngờ. Việc sinh ra hạt bụi được thiết kế ra khỏi gói, và các vật liệu được chọn để chịu được chu kỳ nhiệt lặp lại mà không có hiện tượng thoát khí.
Tại sao nó hoạt động trong các quy trình thực tế
Trong quy trình xử lý photoresist, độ chính xác như vậy giúp bạn kiểm soát kích thước quan trọng ổn định và giảm thiểu số lượng lô phải làm lại. Trong đóng gói, việc gia nhiệt đồng nhất cải thiện độ bám dính và kiểm soát độ rỗng, từ đó giảm thiểu phế liệu và công việc làm lại. Lợi ích hàng ngày là giảm thiểu các mức độ chệch hướng, thời gian chu kỳ mà bạn có thể tin tưởng, và tiết kiệm thực sự về năng lượng và phụ tùng. Khi thiết bị gia nhiệt hoạt động ổn định, quy trình cũng hoạt động ổn định.
Dưới đây là những chi tiết thực tiễn
Các đơn vị này tích hợp một cách sạch sẽ vào các nền tảng công cụ hiện có, nhưng kích thước và nhu cầu giao diện khác nhau theo từng máy. Xác định điện áp, loại đầu nối và kích thước lắp đặt ngay từ đầu để bạn không phải thực hiện các thay đổi tại hiện trường. Lập kế hoạch cho một đợt chạy thử ngắn để khóa các điểm cài đặt trong các công thức nướng mềm và nướng cứng của bạn.
Một yếu tố hạn chế bạn không thể bỏ qua: thiết bị gia nhiệt phải được điều chỉnh với khối lượng nhiệt của buồng. Nếu việc ghép nối nhiệt không chính xác, độ đồng nhất sẽ bị phá vỡ—ngay cả với các yếu tố hàng đầu.

Cáp điện cho máy gia nhiệt phòng sạch

Sun, 31 May 2026 02:38:10 +0800

Trên sàn sản xuất, một bộ gia nhiệt không chỉ đơn thuần làm nóng buồng. Nó thiết lập chuẩn nhiệt cho quá trình soft bake và hard bake của photoresist, cho việc làm sạch và sấy wafer, và cho mọi bước mà sai lệch nhiệt độ biểu hiện dưới dạng lỗi chồng lớp (overlay error) và lệch kích thước (CD bias). Khi cáp nguồn cấp cho bộ gia nhiệt đó không đạt hiệu suất, bạn không nhận được cảnh báo nhẹ nhàng. Bạn gặp phải sai lệch nhiệt. Bạn gặp phải sự tăng đột biến hạt bụi. Bạn gặp phải thời gian ngừng hoạt động ngoài kế hoạch.