Trong quy trình sản xuất, việc sử dụng nhiệt độ 90°C để xử lý vật liệu là điều bắt buộc, chứ không phải là một lựa chọn tùy ý. Chỉ cần sai lệch 2°C thôi cũng có thể làm thay đổi đặc tính của lớp phim quang học, gây ra sự biến đổi về độ dày của các đường trên bề mặt wafer, và khiến những chiếc wafer tốt trở thành rác thải. Chúng tôi đã thiết kế các bóng đèn sưởi bằng tia hồng ngoại dành cho mục đích này.
Những yếu tố quan trọng về mặt kỹ thuật Các bóng đèn này sử dụng nguyên lý phát tia hồng ngoại sóng ngắn từ các nguyên tử halogen, được đặt bên trong vỏ thủy tinh. Nhờ đó, năng lượng được truyền trực tiếp vào vật liệu cần xử lý, giúp giảm thiểu việc làm nóng không khí xung quanh. Kết quả là tốc độ phản ứng nhanh và khả năng kiểm soát chính xác cao. Trên một wafer có kích thước 300 mm, độ chênh lệch nhiệt độ chỉ ở mức ±0,1°C; độ tái lặp lại của nhiệt độ cũng ở mức 0,05°C trong suốt 24 giờ.
Các quy định liên quan đến môi trường sản xuất rất nghiêm ngặt, vì vậy các bóng đèn này được thiết kế để hoạt động trong môi trường loại 1–100. Chúng tôi sử dụng các vật liệu ít phát khí, và công nghệ sản xuất giúp kiểm soát số lượng hạt bụi, nhằm tránh sự biến đổi về đặc tính của vật liệu. Độ ổn định của bóng đèn được đảm bảo ở mức dưới 2% sau 5.000 giờ hoạt động. Thân bóng đèn cũng được thiết kế với các giao diện điện tử tiêu chuẩn, giúp dễ dàng lắp đặt vào các hệ thống hiện có.
Tại sao phương pháp này hiệu quả? Trong quy trình in ấn, bước xử lý bằng nhiệt giúp xác định lượng dung môi cần sử dụng và góc của các bề mặt trên wafer trước khi tiến hành quá trình chiếu sáng. Các bóng đèn hồng ngoại của chúng tôi giúp truyền nhiệt nhanh và đều lên wafer, từ đó rút ngắn thời gian xử lý mà không gây áp lực lên lớp phim quang học. Cả phương pháp xử lý bằng nhiệt mềm lẫn phương pháp xử lý bằng nhiệt cứng đều tuân theo cùng một nguyên tắc nhiệt độ, giúp giảm thiểu việc phải làm lại sản phẩm và nâng cao tỷ lệ thành công trong quy trình sản xuất.
Việc sử dụng năng lượng cũng được giảm thiểu, vì nhiệt lượng được truyền trực tiếp vào vật liệu cần xử lý, thay vì làm nóng các bức tường của buồng xử lý. Điều này giúp giảm thiểu các sự cố không mong muốn, chẳng hạn như việc thay thế bóng đèn giữa các lô sản xuất.
Những điều cần biết Việc lắp đặt bóng đèn đòi hỏi phải đảm bảo rằng hình dạng của bộ phản xạ và khoảng cách tập trung ánh sáng phù hợp với quỹ đạo của wafer. Nếu sự căn chỉnh này không chính xác, độ đồng đều của nhiệt độ sẽ bị ảnh hưởng. Bóng đèn hoạt động ở nhiệt độ cao, vì vậy cần kiểm tra các bộ phận bảo vệ và các cơ chế an toàn trước khi sử dụng chúng.
Chúng tôi hỗ trợ việc tích hợp bóng đèn này với các bộ điều khiển thông thường, nhưng vẫn cần có bản đồ nhiệt độ cụ thể cho từng môi trường sản xuất. Nếu việc đánh giá ban đầu được thực hiện đúng cách, bóng đèn sẽ có thể hoạt động ổn định trong nhiều lô sản xuất liên tiếp.