Bảo vệ các bóng đèn IR khỏi môi trường hóa chất
Hãy thừa nhận rằng việc làm sạch các dụng cụ xử lý wafer là công việc rất nguy hiểm. Bạn phải đối mặt với những chất hòa tan dễ cháy nổ. Nếu sử dụng bóng đèn IR thông thường trong môi trường này, bạn đang tự chuốc rắc rối cho mình. Chỉ cần một tia lửa nhỏ hoặc bề mặt nóng chạm vào hơi chất hòa tan, thì có thể xảy ra vụ nổ nghiêm trọng.
Đó là lý do tại sao chúng tôi không chỉ đơn giản “sử dụng” các bóng đèn mà còn phải bảo vệ chúng một cách kỹ lưỡng. Chúng tôi sử dụng hệ thống bao bọc chuyên dụng để giúp bộ phận phát nhiệt được tách biệt hoàn toàn khỏi không khí xung quanh.
Cách thức hoạt động của hệ thống bảo vệ
Chúng tôi không chỉ bọc bóng đèn trong lớp nhựa đơn giản là xong. Chúng tôi sử dụng vỏ bằng thạch anh có khả năng chống thấm tuyệt đối, cùng lớp vỏ bên ngoài chịu được tác động của hóa chất. Điều này giúp ngăn chặn những hơi chất ăn mòn xâm nhập vào bên trong bóng đèn.
Hệ thống bảo vệ này hoạt động hiệu quả nhờ việc sử dng các miếng đệm chịu nhiệt cao và chất kết dính đặc biệt để giữ các dây điện lại với nhau. Không khí không thể lọt vào bên trong bóng đèn. Đó chính là điểm mạnh của hệ thống này.
Vượt qua môi trường khắc nghiệt
Môi trường hóa chất rất khắc nghiệt; chúng có thể phá hủy các vật liệu. Chúng tôi chọn những linh kiện có khả năng chịu đựng được tác động của các chất hòa tan mà không bị hư hỏng.
Lớp vỏ bên ngoài được thiết kế để chịu đựng sự thay đổi nhiệt độ liên tục mà không bị nứt vỡ. Nếu lớp vỏ này bị hỏng, bóng đèn sẽ bị hư hỏng ngay lập tức. Ngoài ra, chúng tôi còn thiết kế bóng đèn sao cho có kích thước nhỏ gọn, giúp dễ dàng lắp đặt vào các thiết bị xử lý wafer mà không làm cản trở dòng khí.
Những hy sinh cần chấp nhận
Tất nhiên, việc bảo vệ bóng đèn như vậy không phải là điều miễn phí. Bạn sẽ gặp phải một số hạn chế về mặt nhiệt độ. Do có thêm lớp bảo vệ giữa bóng đèn và wafer, cường độ bức xạ IR sẽ giảm đi một chút. Bạn có thể cần tăng công suất của bóng đèn hoặc cho nó thời gian để đạt được nhiệt độ mong muốn. Bạn cũng cần điều chỉnh bộ điều khiển PID để đối phó với sự thay đổi nhiệt độ này.
Nhưng cuối cùng, đó vẫn là một sự đánh đổi xứng đáng. Bạn sẽ có được bóng đèn có khả năng chịu đựng được môi trường khắc nghiệt, và quan trọng hơn, giúp ngăn chặn nguy cơ cháy nổ trong môi trường hóa chất.