IR حرارت کے ذریعہ MEMS سینسر ویفرز کو خشک کرنا
اگر آپ نے کبھی MEMS کی تیاری میں کام کیا ہے، تو آپ جانتے ہیں کہ گیلے عمل کے بعد باقی رہنے والی نمی کو دور کرنا کتنا مشکل ہے۔ یہ ایک بہت بڑی رکاوٹ ہے۔ زیادہ تر لوگ ساری چیزوں کو کنوکشن اوون میں ڈال دیتے ہیں، لیکن یہ دراصل پورے گھر کو گرم کرنے کے مترادف ہے، صرف ایک پیزا کو گرم کرنے کے لئے۔ اس سے بہت زیادہ توانائی ضائع ہوتی ہے۔
اسی لئے ہم شارٹ-ویو انفراریڈ (IR) لیمپس کا استعمال کرتے ہیں۔ ہم ویفر کے ارد گرد کی ہوا کو گرم کرنے کے بجائے، براہِ راست سطح کو گرم کرتے ہیں۔ یہ ایک بہتر طریقہ ہے۔
رفتار کا عنصر
سب سے اچھی بات یہ ہے کہ مشین فوراً ہی کام شروع کر دیتی ہے۔ رزسٹیو ہیٹرز کو کام شروع کرنے میں بہت وقت لگتا ہے، جس کا مطلب یہ ہے کہ آپ مشین کے کام شروع کرنے کا انتظار کرتے ہوئے بہت زیادہ توانائی ضائع کرتے ہیں۔ IR لیمپس ایسا نہیں کرتے۔ وہ فوراً ہی مناسب درجہ حرارت تک پہنچ جاتے ہیں۔ چونکہ ہم شارٹ-ویو اسپیکٹرم کا استعمال کرتے ہیں، اس لئے حرارت ویفر میں جاتی ہے، اور مائعات فوراً ہی خشک ہو جاتے ہیں، اس سے ویفر کو کوئی نقصان نہیں پہنچتا۔
اس طرح آپ کو چھوٹی مشینیں ملتی ہیں، اور بجلی کی لاگت بھی کم ہوتی ہے۔
تیاری کی تفصیلات
ہم لیمپس کے لئے اعلیٰ خالصیت والے کوارٹز کا استعمال کرتے ہیں۔ سیمی کنڈکٹر فیکٹریوں میں دھاتی آلودگی ایک بہت بڑی مشکل ہے، اس لئے ہم کوئی خطرہ مول نہیں لیتے۔ ہم فلامنٹس کو ایسے ہی ترتیب دیتے ہیں کہ اخراج کی شدت ویفر کے مواد کی ضروریات کے مطابق ہو۔
لیکن آپ کو احتیاط کرنی ہوگی۔ اگر آپ ایک جگہ پر بہت زیادہ توانائی استعمال کریں، تو ویفر میں تناؤ پیدا ہو سکتا ہے، یا تھرمل شاک پیدا ہو سکتا ہے۔ اس سے بچنے کے لئے، ہم لیمپ کے فاصلے کو مناسب رکھتے ہیں، اور پلسڈ پاور کنٹرولرز کا استعمال کرتے ہیں۔ اس سے درجہ حرارت مستحکم رہتا ہے۔
فوائد اور نقصانات
IR کا استعمال کرنے سے کئی فوائد ہیں۔ آپ بے فائدہ توانائی کی بچت کر سکتے ہیں، اور بڑے، بھاری پنکھے جیسے نظاموں کی ضرورت نہیں پڑتی۔
لیکن ایک نقصان یہ ہے کہ IR کا اثر صرف سیدھی لکیر میں ہوتا ہے۔ اگر ویفر کیریئر میں موٹی ریبز یا کوئی شیلڈنگ ہو، تو کچھ جگہوں پر سردی رہ جاتی ہے۔ آپ کو درست الائنمنٹ کی ضرورت ہے، خاص طور پر 200 ملی میٹر یا 300 ملی میٹر کی سطحوں پر۔ اگر آپ تھوڑا سا بھی غلطی کریں، تو ویفر پر خشکی کے نشانات پیدا ہو جاتے ہیں، اور یہ سینسر کی کارکردگی کو خراب کر سکتا ہے۔