Запасна частина — нагрівальний елемент Aixtron

Tue, 30 Jun 2026 01:46:53 +0800

У реакторі Aixtron MOCVD саме визначається рівень температури під час процесу виробництва. Якщо елемент нагріву починає давати збої, єдність температури порушується. Пластини не відповідають стандартам якості, повторюваність процесу зменшується, і тоді доводиться зосереджуватися на кількості частинок, а не на тривалості роботи обладнання. Якщо використати оригінальний запасний елемент нагріву від Aixtron, то можна швидко повернутися до початкових параметрів температури.

Що є важливим при заміні елемента нагріву Цей запасний елемент призначений спеціально для теплових систем реакторів Aixtron: має стабільний опір, швидку реакцію на зміни температури, що дозволяє забезпечити точний контроль температури. Його геометрія відповідає формі елементів нагріву в камері та їх розташуванню, тож його можна без проблем встановити на місце. Матеріали, з яких виготовлений елемент, забезпечують стабільність при високих температурах та мінімальне виділення газів, тож камера залишається чистою. У результаті досягається однорідна температура на всій площі пластини – це забезпечує передбачуваний результат процесу обробки фотолітів у процесі літографії та стабільні умови для епітаксії у процесі MOCVD.

Spare on Online Store for Infrared Heaters

Запасна частина — нагрівальний елемент Aixtron