Сушіння пластин чутливих елементів MEMS за допомогою інфрачервоного опромінення
Якщо ви коли-небудь працювали з виробництва MEMS-елементів, то знаєте, які труднощі виникають при усуненні залишків вологи після процедур хімічного чи механічного очищення. Це справжня перешкода у процесі виробництва. Більшість людей просто поміщають всі компоненти в конвекційну піч, але це все одно що нагрівати цілий будинок лише для того, щоб розігріти шматок піци. Це призводить до значних витрат енергії.
Ось чому ми використовуємо лампи з короткохвильовим інфрачервоним випромінюванням. Замість того, щоб нагрівати повітря навколо пластини, ми напряму нагріваємо саму поверхню. Це значно ефективніший спосіб для екологічно чистого виробництва.
Швидкість роботи
Найкраще те, що процес підготовки пластини відбувається майже миттєво. Індуктивні нагрівачі потребують часу, щоб нагрітися, тож ви витрачаєте енергію лише на очікування. Лампи з інфрачервоним випромінюванням не мають таких проблем – вони миттєво досягають необхідної температури. Оскільки ми використовуємо короткохвильове спектр, тепло потрапляє прямо в пластину та швидко випаровує рідину, перш ніж матеріал пластини встигне перегрітися.
У результаті у вас буде менша кількість обладнання та значно нижчі витрати на електроенергію.
Деталі конструкції
Ми використовуємо корпуси ламп з високочистим кварцем. У заводах з виробництва напівпровідників металеве забруднення є серйозною проблемою, тож ми не можемо ризикувати. Ми також налаштовуємо філаменти так, щоб їх випромінювання точно відповідало потребам матеріалу пластини.
Але потрібно бути обережними: якщо ви направите занадто багато енергії на одну точку, це може спричинити деформацію пластини чи тепловий удар. Щоб уникнути цього, ми коригуємо відстань між лампами та використовуємо контролери імпульсної потужності. Це дозволяє підтримувати стабільну температуру.
Переваги та недоліки
Використання інфрачервоного опромінення полегшує процес виробництва. Ви скорочуєте витрати на електроенергію та можете позбутися великих та громіздких систем конвекційного опалення.
Але є один недолік: інфрачервоне випромінювання може проходити лише в прямій лінії. Якщо на пластині є товсті елементи чи якийсь захист, будуть утворюватися „холодні зони“. Тож необхідно дуже точно налаштувати положення пластини – особливо для пластин діаметром 200 мм чи 300 мм. Навіть незначна похибка може призвести до появи слідів від сушіння, що значно знизить якість продукції.