На поверхні для літографії все відбувається так: навіть незначна зміна температури на півградуса може призвести до того, що критичні розміри продукту будуть змінюватися на кілька нанометрів. Одна неякісна партія продукції – і доводиться платити за це протягом багатьох днів.
Ми створили цю лампу для випалювання фотолаку саме з урахуванням цих умов – без жодних компромісів, лише точний контроль.
Що є важливим у роботі лампи
У лампі використовується галогенний випромінювач короткої довжини хвилі, розташований у кварцовому корпусі. Це дозволяє швидко нагріти шар фотолаку та зберегти його стабільність. На поверхні випалювання однорідність температури становить ±0,1°C, а повторюваність результатів – краще, ніж ±0,2°C. Час на досягнення потрібної температури становить менше 2 секунд, а після цього зміна температури за годину залишається нижче 0,1°C.
Лампа призначена для використання в чистих приміщеннях класу 1–100. Вона розроблена так, щоб під час роботи не утворюватися жодних частинок. Енергоспоживання та розміри лампи дозволяють її використання в уже існуючих системах для нанесення та випалювання фотолаку. Крім того, інтерфейс лампи сумісний зі стандартними роз’ємами, що полегшує її встановлення.
Чому це допомагає уникнути проблем
Ця лампа дозволяє підтримувати стабільні умови під час процесу обробки фотолаку. Профілі м’якого та жорсткого випалювання залишаються стабільними, тож ширина ліній, кут бічних стінок та кількість залишкових розчинників залишаються в межах допустимих значень.
Це означає менше необхідності в переробці продукції, менше відходів та можливість точного планування часу виконання завдань. Швидке досягнення потрібної температури з мінімальними відхиленнями дозволяє скоротити споживання енергії. Довгий термін служби випромінювача також дозволяє подовжити інтервали технічного обслуговування – менше запчастин, менше непланових зупинок.
Що потрібно врахувати під час встановлення
Потрібна електропроводка, придатна для використання в чистих приміщеннях, а також точне оптичне вирівнювання лампи, щоб температурний профіль залишався саме там, де це необхідно – на пластині з фотолаком. Для контролю температури також потрібен зовнішній датчик температури; без нього робота лампи буде неефективною. Спочатку потрібно провести тестування, щоб визначити фактичні параметри роботи лампи, а потім вже можна починати її використання.