บนพื้นลิธิโอกราฟี การเบี่ยงเบนครึ่งองศาในระหว่างการอบอ่อนเพียงพอที่จะทำให้ความกว้างของเส้นลดลงเป็นนาโนเมตร หากคุณทำการอบแข็งที่อุณหภูมิสูงเกินไป...

บนพื้นที่ผลิต ฮีตเตอร์ไม่ได้แค่ทำให้ห้องอบอุ่น แต่เป็นการกำหนดฐานอุณหภูมิสำหรับการอบ photoresist แบบนุ่มและแข็ง สำหรับการล้างและทำให้แห้งเวเฟอร์...