การปกป้องเวเฟอร์ของคุณให้ปลอดภัย: เหตุใดการออกแบบเครื่องทำความร้อนจึงมีความสำคัญ
หากคุณทำการผลิตชิปเซมิคอนดักเตอร์ในปริมาณมาก คุณคงรู้ดีถึงสถานการณ์ที่เลวร้ายที่สุด นั่นก็คือเมื่อหลอดไฟภายในห้องสุญญากาศเสียหาย
นั่นไม่ใช่เพียงแค่การหยุดกระบวนการผลิตเท่านั้น แต่เมื่อท่อควอตซ์แตก มันก็เหมือนกับระเบิดกระจก ส่วนของแตกและเศษโลหะจะตกลงมาบนเวเฟอร์ของคุณ ทำให้เวเฟอร์ทั้งหมดเสียหายไปเลย มันเป็นสถานการณ์ที่ยุ่งเหยิงมาก
เราออกแบบเครื่องทำความร้อนแบบอินฟราเรดสำหรับห้องสุญญากาศโดยเฉพาะ เพื่อให้คุณไม่ต้องเผชิญกับปัญหาเหล่านี้อีกเลย
ทำไมหลอดไฟถึงแตกล่ะ?
โดยปกติแล้ว มันเกิดจากแรงกระแทกทางความร้อนหรือจุดร้อนที่รุนแรง ในห้องสุญญากาศนั้นไม่มีอากาศที่จะช่วยพาความร้อนไปไหนได้ ดังนั้นทุกอย่างจึงขึ้นอยู่กับการแผ่รังสีความร้อน
หากความหนาแน่นของพลังงานสูงเกินไป ท่อควอตซ์ก็จะเกิดความเครียดและแตก 为了ป้องกันสิ่งนี้ เราจึงใช้ควอตซ์สังเคราะห์ที่มีความบริสุทธิ์สูง ซึ่งสามารถรับมือกับความร้อนได้ดีกว่า และไม่ขยายตัวมากเกินไป ดังนั้นมันจึงสามารถทนต่อการเปลี่ยนแปลงอุณหภูมิอย่างรวดเร็วได้โดยไม่แตก
การป้องกันเศษของแตกก่อนที่มันจะตกลงมา
แม้ว่าจะใช้ควอตซ์ที่มีคุณภาพดีแล้ว ก็ยังมีโอกาสเกิดปัญหาได้อยู่ดี นั่นคือเหตุผลที่เราไม่ได้พึ่งพาเพียงแค่หลอดไฟเท่านั้น
เราจึงใช้ส่วนประกอบที่มีความโปร่งใสสูงมาหุ้มองค์ประกอบทำความร้อนไว้ มันเหมือนเป็นเกราะป้องกัน หากหลอดไฟภายในเสียหาย ส่วนประกอบภายนอกก็จะช่วยรับเศษของแตกไว้ คุณก็เพียงแค่เปลี่ยนหลอดไฟที่เสียไปเท่านั้น โดยไม่ต้องใช้เวลาหลายชั่วโมงในการทำความสะอาดห้องสุญญากาศ
เราไม่ลืมเรื่องการเชื่อมต่อด้วย
การเชื่อมต่อที่ไม่แน่นหนาอาจทำให้เกิดประกายไฟ ซึ่งจะก่อให้เกิดความร้อนสูงขึ้น และทำให้ท่อควอตซ์แตกได้ เราจึงใช้ส่วนประกอบที่มีการเคลือบทองเพื่อให้การเชื่อมต่อมั่นคง
ข้อเสียของการใช้วิธีนี้
อย่างไรก็ตาม การเพิ่มชั้นป้องกันเหล่านี้ก็ทำให้มีวัสดุมากขึ้นระหว่างแหล่งความร้อนกับเวเฟอร์ ดังนั้นความสามารถในการส่งผ่านความร้อนก็จะลดลงเล็กน้อย คุณอาจต้องปรับการตั้งค่าพลังงานหรือให้เวเฟอร์อยู่ในอุณหภูมิที่เหมาะสมนานขึ้นเล็กน้อย
แต่พูดตามตรงแล้ว มันเป็นสิ่งที่คุณต้องยอมรับในทุกครั้ง การสูญเสียประสิทธิภาพการส่งผ่านความร้อนเล็กน้อยนั้นไม่ใช่ปัญหาใหญ่เมื่อเทียบกับความมั่นใจว่าผลิตภัณฑ์ของคุณจะปลอดภัย